СиЦ Цоатинг Грапхите МОЦВД Вафер Царриерс Сусцепторс

Кратак опис:

ВЕТ Енерги СиЦ обложен МОЦВД сусцептор за епитаксијални раст је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Има супер добру отпорност на топлоту и термичку униформност, високу чистоћу, отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за апликације обраде плочица.

Пошаљите нам емаил Преузмите као ПДФ

Детаљи о производу

Ознаке производа

СиЦ премаз графит МОЦВД Носачи/сусцептор плочице

Сви наши пријемници су направљени од изостатског графита високе чврстоће. Искористите предности високе чистоће наших графита – развијених посебно за изазовне процесе као што су епитаксија, узгој кристала, имплантација јона и јеткање плазмом, као и за производњу ЛЕД чипова.

Карактеристике наших производа:

1. Отпорност на оксидацију високе температуре до 1700℃.
2. Висока чистоћа и термичка униформност
3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
5. Дужи радни век и издржљивији

ЦВД SiC薄膜基本物理性能 Основна физичка својства ЦВД СиЦпремазивање
性质 / Проперти	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза多晶, 主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 г/цм³
硬度 / Тврдоћа	2500 维氏硬度 (500г оптерећење)
晶粒大小 / Величина зрна	2~10μм
纯度 / Цхемицал Пурити	99,99995%
热容 / Капацитет топлоте	640 Ј·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимације	2700℃
抗弯强度 / Флекурал Стренгтх	415 МПа РТ 4 тачке
杨氏模量 / Иоунг'с Модулус	430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃
导热系数 / ТхермалЦондуцтивити	300В·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)	4,5×10^-6K^-1

ВЕТ Енерги је прави произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са различитим премазима као што су СиЦ премаз, ТаЦ премаз, премаз од стакленог угљеника, премаз од пиролитичког угљеника, итд., Може да испоручи различите прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију.

Наш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, може вам пружити професионалнија материјална решења.

Континуирано развијамо напредне процесе да бисмо обезбедили напредније материјале, и развили смо ексклузивну патентирану технологију, која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да разговарамо даље!