СиЦ премаз/превучена графитна подлога/тацца за полупроводнике

Кратак опис:

ВЕТ Енерги СиЦ обложени графитни сусцептор за епитаксијални раст је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Има супер добру отпорност на топлоту и термичку униформност, високу чистоћу, отпорност на ерозију, што га чини савршеним решењем за апликације обраде плочица.


Детаљи о производу

Ознаке производа

СиЦ премаз/превлака графитног сусцептора за полупроводнике
 
ТхеГрафитна подлога обложена СиЦје високо издржљиво и ефикасно решење дизајнирано да испуни ригорозне захтеве индустрије обраде полупроводника. Садржи слој високе чистоћепревлака од силицијум карбида (СиЦ)., ова подлога пружа изузетну термичку стабилност, отпорност на оксидацију и продужени радни век, што га чини идеалним за примену у МОЦВД процесима, носачима графитних плочица и другим окружењима са високим температурама.

 Карактеристике: 
· Одлична отпорност на топлотни удар
· Одлична отпорност на физички удар
· Одлична хемијска отпорност
· Супер висока чистоћа
· Доступност у сложеном облику
· Употребљиво под оксидирајућом атмосфером

Апликација:

3

Карактеристике и предности производа:

1. Супериорна топлотна отпорност:Са високом чистоћомСиЦ премаз, супстрат издржава екстремне температуре, обезбеђујући доследне перформансе у захтевним окружењима као што су епитаксија и производња полупроводника.

2. Повећана издржљивост:Графитне компоненте обложене СиЦ су дизајниране да одоле хемијској корозији и оксидацији, продужавајући животни век подлоге у поређењу са стандардним графитним подлогама.

3. Графит са стакластим слојем:Јединствена структура стакластог телаСиЦ премазпружа одличну површинску тврдоћу, минимизирајући хабање током обраде на високим температурама.

4. СиЦ премаз високе чистоће:Наш супстрат обезбеђује минималну контаминацију у осетљивим полупроводничким процесима, нудећи поузданост за индустрије које захтевају строгу чистоћу материјала.

5. Примена на широком тржишту:ТхеГрафитни пријемник обложен СиЦТржиште наставља да расте како се повећава потражња за напредним производима обложеним СиЦ-ом у производњи полупроводника, позиционирајући ову подлогу као кључног играча и на тржишту носача графитних плочица и на тржишту графитних лежишта обложених силицијум карбидом.

Типичне особине основног графитног материјала:

Привидна густина: 1,85 г/цм3
Електрична отпорност: 11 μΩм
Савијање: 49 МПа (500 кгф/цм2)
Тврдоћа по Шору: 58
пепео: <5ппм
Топлотна проводљивост: 116 В/мК (100 кцал/мхр-℃)

 

ЦВД SiC薄膜基本物理性能

Основна физичка својства ЦВД СиЦпремазивање

性质 / Проперти

典型数值 / Типична вредност

晶体结构 / Цристал Струцтуре

ФЦЦ β фаза 多晶,主要为(111)取向

密度 / Густина

3,21 г/цм³

硬度 / Тврдоћа

2500 维氏硬度 (500г оптерећење)

晶粒大小 / Величина зрна

2~10μм

纯度 / Хемијска чистоћа

99,99995%

热容 / Хеат Цапацити

640 Ј·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимације

2700℃

抗弯强度 / Снага на савијање

415 МПа РТ 4 тачке

杨氏模量 / Иоунг'с Модулус

430 Гпа 4пт кривина, 1300 ℃

导热系数 / Топлотна проводљивост

300В·м-1·К-1

热膨胀系数 / термичка експанзија (ЦТЕ)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

ВЕТ Енерги је прави произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са различитим премазима као што су СиЦ премаз, ТаЦ премаз, премаз од стакленог угљеника, премаз од пиролитичког угљеника, итд., Може да испоручи различите прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију.

Наш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, може вам пружити професионалнија материјална решења.

Континуирано развијамо напредне процесе да бисмо обезбедили напредније материјале, и развили смо ексклузивну патентирану технологију, која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да разговарамо даље!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Претходно:
  • Следеће:

  • ВхатсАпп онлајн ћаскање!