ПЕЦВД лежиште за учитавање графитно лежиште

ПЕЦВД Лоадинг Траи Депоситион Грапхите Траи Истакнута слика

Кратак опис:

ВЕТ Енерги ПЕЦВД ладица за пуњење је дизајнирана да обезбеди сигурну и уједначену подршку за плочице током таложења, побољшавајући конзистентност и квалитет процеса таложења. Са својом одличном отпорношћу на топлоту, Грапхите Траи помаже у одржавању контролисаног окружења унутар ПЕЦВД комора, смањујући ризик од контаминације и осигуравајући високу ефикасност процеса.

Пошаљите нам емаил Преузмите као ПДФ

Детаљи о производу

Ознаке производа

ВЕТ Енерги ПЕЦВД посуда за пуњење је прецизни носач дизајниран за ПЕЦВД (плазма побољшано хемијско таложење паре) процес. Ова висококвалитетна графитна посуда за таложење направљена је од графитног материјала високе чистоће и високе густине. Има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, стабилност димензија и друге карактеристике. Може да обезбеди стабилну платформу за ПЕЦВД процес и обезбеди уједначеност и равност таложења филма.

ВЕТ Енерги ПЕЦВД посуде за пуњење се широко користе у полупроводничким, фотонапонским, ЛЕД и другим пољима. на пример:

▪ Полупроводник: ПЕЦВД процес за полупроводничке материјале као што су силицијумске плочице и епитаксијалне плочице.

▪ Фотонапонски: ПЕЦВД процес за танке филмове соларних ћелија.

▪ ЛЕД: ПЕЦВД процес за ЛЕД чипове.

Предности производа

▪Побољшајте квалитет филма:Обезбедите равномерно таложење филма и побољшајте квалитет филма.

▪Продужите животни век опреме:Одлична отпорност на корозију, продужава радни век ПЕЦВД опреме.

▪Смањите трошкове производње:Висококвалитетне графитне посуде могу смањити стопу отпада и смањити трошкове производње.

Графитни материјал из СГЛ:

Типичан параметар: Р6510
Индекс	Тест стандард	Валуе	Јединица
Просечна величина зрна	ИСО 13320	10	μм
Насипна густина	ДИН ИЕЦ 60413/204	1.83	г/цм³
Отворена порозност	ДИН66133	10	%
Средња величина пора	ДИН66133	1.8	μм
Пропустљивост	ДИН 51935	0.06	цм²/с
Роцквелл тврдоћа ХР5/100	ДИН ИЕЦ60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	ДИН ИЕЦ 60413/402	13	μΩм
Чврстоћа на савијање	ДИН ИЕЦ 60413/501	60	МПа
Чврстоћа на притисак	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Топлотна експанзија (20-200 ℃)	ДИН 51909	4.2Кс10^-6	K^-1
Топлотна проводљивост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Посебно је дизајниран за високоефикасну производњу соларних ћелија, подржавајући обраду плочица великих величина Г12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.

Ставка	Тип	Носач плочице броја
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 156	156-13 грефитни чамац	144
	156-19 грепхите чамац	216
	156-21 грефитни чамац	240
	156-23 графитни чамац	308
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 125	125-15 грепхите чамац	196
	125-19 грепхите чамац	252
	125-21 грпхите чамац	280