ВЕТ Енерги Грапхите Субстрате Вафер Холдер је прецизан носач дизајниран за ПЕЦВД (Пласма Енханцед Цхемицал Вапор Депоситион) процес. Овај висококвалитетни држач графитне подлоге направљен је од графитног материјала високе чистоће, високе густине, са одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију, стабилношћу димензија и другим карактеристикама. Може да обезбеди стабилну платформу подршке за ПЕЦВД процес и обезбеди уједначеност и равност таложења филма.
ВЕТ Енерги ПЕЦВД процесни сто за подршку графитних плочица има следеће карактеристике:
▪Висока чистоћа:изузетно низак садржај нечистоћа, избегавајте контаминацију филма, осигуравајте квалитет филма.
▪Висока густина:висока густина, висока механичка чврстоћа, може издржати високу температуру и ПЕЦВД окружење високог притиска.
▪Добра стабилност димензија:мала промена димензија на високој температури, обезбеђујући стабилност процеса.
▪Одлична топлотна проводљивост:ефикасно преноси топлоту како би се спречило прегревање вафла.
▪Јака отпорност на корозију:може да се одупре ерозији разним корозивним гасовима и плазмом.
▪Прилагођена услуга:графитни потпорни столови различитих величина и облика могу се прилагодити према потребама купаца.
Предности производа
▪Побољшајте квалитет филма:Обезбедите равномерно таложење филма и побољшајте квалитет филма.
▪Продужите животни век опреме:Одлична отпорност на корозију, продужава радни век ПЕЦВД опреме.
▪Смањите трошкове производње:Висококвалитетне графитне посуде могу смањити стопу отпада и смањити трошкове производње.
Графитни материјал из СГЛ:
Типичан параметар: Р6510 | |||
Индекс | Тест стандард | Валуе | Јединица |
Просечна величина зрна | ИСО 13320 | 10 | μм |
Насипна густина | ДИН ИЕЦ 60413/204 | 1.83 | г/цм3 |
Отворена порозност | ДИН66133 | 10 | % |
Средња величина пора | ДИН66133 | 1.8 | μм |
Пропустљивост | ДИН 51935 | 0.06 | цм²/с |
Роцквелл тврдоћа ХР5/100 | ДИН ИЕЦ60413/303 | 90 | HR |
Специфична електрична отпорност | ДИН ИЕЦ 60413/402 | 13 | μΩм |
Чврстоћа на савијање | ДИН ИЕЦ 60413/501 | 60 | МПа |
Чврстоћа на притисак | ДИН 51910 | 130 | МПа |
Јангов модул | ДИН 51915 | 11,5×10³ | МПа |
Топлотна експанзија (20-200 ℃) | ДИН 51909 | 4.2Кс10-6 | K-1 |
Топлотна проводљивост (20℃) | ДИН 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Посебно је дизајниран за високоефикасну производњу соларних ћелија, подржавајући обраду плочица великих величина Г12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.
Ставка | Тип | Носач плочице броја |
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 156 | 156-13 грефитни чамац | 144 |
156-19 грепхите чамац | 216 | |
156-21 грефитни чамац | 240 | |
156-23 графитни чамац | 308 | |
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 125 | 125-15 грепхите чамац | 196 |
125-19 грепхите чамац | 252 | |
125-21 грпхите чамац | 280 |