ПЕЦВД подршка за графитне плочице

Истакнута слика подршке за ПЕЦВД графитне плочице

Кратак опис:

Дизајниран за прецизност и перформансе, Грапхите Вафер Суппорт компаније ВЕТ Енерги је идеалан материјал за употребу у напредној обради плочица, где су висока термичка стабилност и доследне перформансе критичне. Без обзира да ли радите са полупроводничким плочицама или другим деликатним подлогама, ова висококвалитетна графитна подршка ће побољшати поузданост вашег процеса и квалитет производа, чинећи га незаменљивом компонентом за савремену производњу.

Пошаљите нам емаил Преузмите као ПДФ

Детаљи о производу

Ознаке производа

ВЕТ Енерги ПЕЦВД процесни графитни носач је основни потрошни материјал дизајниран за ПЕЦВД (плазма побољшано хемијско таложење паре) процес. Овај производ је направљен од графитног материјала високе чистоће, високе густине, са одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију, стабилношћу димензија и другим карактеристикама, може пружити стабилну платформу подршке за ПЕЦВД процес, како би се осигурала уједначеност и равност таложења филма.

Дизајн "графитне подршке" ВЕТ Енерги носача графитних плочица не само да може ефикасно да подржи плочицу, већ и да обезбеди термичку стабилност на високој температури и високом притиску ПЕЦВД окружењу како би се осигурала стабилност процеса.

ВЕТ Енерги ПЕЦВД процесна графитна подлога има следеће карактеристике:

▪Висока чистоћа:изузетно низак садржај нечистоћа, избегавајте контаминацију филма, како бисте осигурали квалитет филма.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка чврстоћа, може издржати високу температуру и ПЕЦВД окружење високог притиска.

▪Добра стабилност димензија:мале промене димензија на високој температури да би се обезбедила стабилност процеса.

▪Одлична топлотна проводљивост:ефикасно преноси топлоту како би се спречило прегревање вафла.

▪Јака отпорност на корозију:У стању да се одупре ерозији разним корозивним гасовима и плазмом.

▪Прилагођена услуга:Графитни потпорни столови различитих величина и облика могу се прилагодити према потребама купаца.

Графитни материјал из СГЛ:

Типичан параметар: Р6510
Индекс	Тест стандард	Валуе	Јединица
Просечна величина зрна	ИСО 13320	10	μм
Насипна густина	ДИН ИЕЦ 60413/204	1.83	г/цм³
Отворена порозност	ДИН66133	10	%
Средња величина пора	ДИН66133	1.8	μм
Пропустљивост	ДИН 51935	0.06	цм²/с
Роцквелл тврдоћа ХР5/100	ДИН ИЕЦ60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	ДИН ИЕЦ 60413/402	13	μΩм
Чврстоћа на савијање	ДИН ИЕЦ 60413/501	60	МПа
Чврстоћа на притисак	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Топлотна експанзија (20-200 ℃)	ДИН 51909	4.2Кс10^-6	K^-1
Топлотна проводљивост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Посебно је дизајниран за високоефикасну производњу соларних ћелија, подржавајући обраду плочица великих величина Г12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.

Ставка	Тип	Носач плочице броја
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 156	156-13 грефитни чамац	144
	156-19 грепхите чамац	216
	156-21 грефитни чамац	240
	156-23 графитни чамац	308
ПЕВЦД Грепхите брод - серија 125	125-15 грепхите чамац	196
	125-19 грепхите чамац	252
	125-21 грпхите чамац	280