Цијевни пријемник за епитаксију течне фазе ЛПЕ
ЕПИ (епитаксија)је критичан процес у производњи напредних полупроводника. Укључује таложење танких слојева материјала на подлогу за стварање сложених структура уређаја. СиЦ обложени графитни бачвасти пријемници за ЕПИ се обично користе као пријемници у ЕПИ реакторима због њихове одличне топлотне проводљивости и отпорности на високе температуре. ВитхЦВД-СиЦ премаз, постаје отпорнији на контаминацију, ерозију и топлотни удар. Ово резултира дужим животним веком сусцептора и побољшаним квалитетом филма.
Предности нашег бачвастог пријемника за епитаксију течне фазе ЛПЕ:
Смањена контаминација:Инертна природа СиЦ-а спречава нечистоће да се приањају на површину пријемника, смањујући ризик од контаминације депонованих филмова.
Повећана отпорност на ерозију:СиЦ је знатно отпорнији на ерозију од конвенционалног графита, што доводи до дужег животног века пријемника.
Побољшана термичка стабилност:СиЦ има одличну топлотну проводљивост и може издржати високе температуре без значајног изобличења.
Побољшан квалитет филма:Побољшана термичка стабилност и смањена контаминација резултирају квалитетнијим депонованим филмовима са побољшаном уједначеношћу и контролом дебљине.
Нингбо ВЕТ Енерги Тецхнологи Цо., Лтд је високотехнолошко предузеће које се фокусира на производњу и продају врхунских напредних материјала, материјала и технологије укључујући графит, силицијум карбид, керамику, површинску обраду као што је СиЦ премаз, ТаЦ премаз, стаклени угљеник премаз, пиролитички угљенични премаз, итд., Ови производи се широко користе у фотонапонској, полупроводничкој, новој енергији, металургији итд.
Наш технички тим долази из врхунских домаћих истраживачких институција, и развио је више патентираних технологија како би осигурао перформансе и квалитет производа, такође може пружити купцима професионална решења за материјале.
Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу лабораторију и постројење за техничку дискусију и сарадњу!