PECVD Sibaka e depozitimit të grafitit për ngarkimin e tabakasë

PECVD Ngarkimi i tabakasë Depozitimi i tabakasë grafiti Imazhi i veçuar

Përshkrimi i shkurtër:

Tabaka e ngarkimit PECVD e VET Energy është projektuar për të siguruar mbështetje të sigurt dhe të barabartë për vaferat gjatë depozitimit, duke përmirësuar qëndrueshmërinë dhe cilësinë e procesit të depozitimit. Me rezistencën e tij të shkëlqyer ndaj nxehtësisë, Tabaka e Grafitit ndihmon në ruajtjen e një mjedisi të kontrolluar brenda dhomave PECVD, duke reduktuar rrezikun e ndotjes dhe duke siguruar efikasitet të lartë të procesit.

Na dërgoni email Shkarkoni si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Tabaka ngarkuese e VET Energy PECVD është një mbajtës precize i projektuar për procesin PECVD (depozitimi kimik i avullit kimik të përmirësuar me plazmë). Ky tabaka grafiti me depozitim me cilësi të lartë është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë dhe me densitet të lartë. Ka rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensionale dhe karakteristika të tjera. Mund të sigurojë një platformë të qëndrueshme mbajtëse për procesin PECVD dhe të sigurojë uniformitetin dhe rrafshin e depozitimit të filmit.

Tabakat e ngarkimit të PECVD të VET Energy përdoren gjerësisht në fusha gjysmëpërçuese, fotovoltaike, LED dhe të tjera. Për shembull:

▪ Gjysmëpërçues: proces PECVD për materiale gjysmëpërçuese si vafera silikoni dhe vafera epitaksiale.

▪ Fotovoltaik: Procesi PECVD për filmat e hollë të qelizave diellore.

▪ LED: Procesi PECVD për çipat LED.

Avantazhet e produktit

▪Përmirësoni cilësinë e filmit:Siguroni depozitim uniform të filmit dhe përmirësoni cilësinë e filmit.

▪Zgjat jetën e pajisjes:Rezistencë e shkëlqyer ndaj korrozionit, zgjat jetën e shërbimit të pajisjeve PECVD.

▪Ulja e kostove të prodhimit:Tabaka me grafit me cilësi të lartë mund të zvogëlojë shkallën e skrapit dhe të zvogëlojë kostot e prodhimit.

Materiali grafit nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlera	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrës	ISO 13320	10	μm
Dendësia e masës	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Poroziteti i hapur	DIN66133	10	%
Madhësia mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca në shtypje	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëri termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e vaferës me madhësi të madhe G12. Dizajni i optimizuar i transportuesit rrit ndjeshëm xhiros, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikulli	Lloji	Mbajtëse meshë me numra
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 varkë grefite	144
	156-19 varkë grefite	216
	156-21 varkë grefite	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 varkë grefite	196
	125-19 varkë grefite	252
	125-21 varkë grfite	280