Mbajtëse vafere me nënshtresë grafiti për PECVD

Mbajtëse vaferi e nënshtresës grafiti për imazhin e veçuar PECVD

Përshkrimi i shkurtër:

Mbajtësja e nënshtresës së grafit të VET Energy është projektuar për të ruajtur shtrirjen dhe stabilitetin e vaferës gjatë gjithë procesit PECVD, duke parandaluar kontaminimin dhe duke minimizuar rrezikun e dëmtimit. Mbajtësja e vaferës së grafit ofron një platformë të sigurt dhe të barabartë, duke siguruar që vaferat të ekspozohen në mënyrë të barabartë ndaj plazmës për depozitim të qëndrueshëm dhe me cilësi të lartë. Me përçueshmërinë e tij të lartë termike dhe forcën e jashtëzakonshme, kjo mbajtëse ndihmon në përmirësimin e efikasitetit të përgjithshëm të procesit dhe performancës së produktit.

Na dërgoni email Shkarkoni si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Mbajtëse vaferi e nënshtresës së grafitit të Energjisë VET është një mbajtës precize i projektuar për procesin PECVD (Depozitimi Kimik i Avullit Kimik i Përmirësuar Plazma). Kjo Mbajtëse e Nënshtresës Grafite me cilësi të lartë është bërë nga material grafiti me pastërti të lartë, me densitet të lartë, me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, rezistencë ndaj korrozionit, qëndrueshmëri dimensionale dhe karakteristika të tjera. Mund të sigurojë një platformë të qëndrueshme mbështetëse për procesin PECVD dhe të sigurojë uniformitetin dhe rrafshimin e depozitimit të filmit.

Tabela e mbështetjes së vaferës grafit të procesit të VET Energy PECVD ka karakteristikat e mëposhtme:

▪Pastërti e lartë:përmbajtje jashtëzakonisht të ulët të papastërtive, shmangni kontaminimin e filmit, siguroni cilësinë e filmit.

▪Dendësi e lartë:densitet të lartë, forcë të lartë mekanike, mund të përballojë temperaturë të lartë dhe presion të lartë mjedis PECVD.

▪Stabilitet i mirë dimensional:ndryshim i vogël dimensional në temperaturë të lartë, duke siguruar stabilitet të procesit.

▪Përçueshmëri e shkëlqyer termike:transferoni në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e vaferës.

▪Rezistencë e fortë ndaj korrozionit:mund t'i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.

▪Shërbimi i personalizuar:Tabelat mbështetëse grafiti të madhësive dhe formave të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.

Avantazhet e produktit

▪Përmirësoni cilësinë e filmit:Siguroni depozitim uniform të filmit dhe përmirësoni cilësinë e filmit.

▪Zgjat jetën e pajisjes:Rezistencë e shkëlqyer ndaj korrozionit, zgjat jetën e shërbimit të pajisjeve PECVD.

▪Ulja e kostove të prodhimit:Tabaka me grafit me cilësi të lartë mund të zvogëlojë shkallën e skrapit dhe të zvogëlojë kostot e prodhimit.

Materiali grafit nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlera	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrës	ISO 13320	10	μm
Dendësia e masës	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Poroziteti i hapur	DIN66133	10	%
Madhësia mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca në shtypje	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëri termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e vaferës me madhësi të madhe G12. Dizajni i optimizuar i transportuesit rrit ndjeshëm xhiros, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikulli	Lloji	Mbajtëse meshë me numra
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 varkë grefite	144
	156-19 varkë grefite	216
	156-21 varkë grefite	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 varkë grefite	196
	125-19 varkë grefite	252
	125-21 varkë grfite	280