Mbështetje me vaferë grafite PECVD

Imazhi i veçuar i mbështetjes me vaferë grafiti PECVD

Përshkrimi i shkurtër:

E projektuar për saktësi dhe performancë, Mbështetja e Vaferës Graphite të VET Energy është materiali ideal për t'u përdorur në përpunimin e avancuar të vaferës, ku stabiliteti i lartë termik dhe performanca e qëndrueshme janë kritike. Pavarësisht nëse jeni duke punuar me vafera gjysmëpërçuese ose nënshtresa të tjera delikate, kjo mbështetje grafiti me cilësi të lartë do të rrisë besueshmërinë e procesit dhe cilësinë e produktit, duke e bërë atë një komponent të domosdoshëm për prodhimin modern.

Na dërgoni email Shkarkoni si PDF

Detajet e produktit

Etiketat e produktit

Mbështetja e vaferës së grafitit të procesit PECVD e VET Energy është një material harxhues bazë i projektuar për procesin PECVD (depozitimi kimik i avullit kimik të përmirësuar me plazmë). Ky produkt është bërë nga materiali grafit me pastërti të lartë, me densitet të lartë, me rezistencë të shkëlqyer ndaj temperaturës së lartë, rezistencë ndaj korrozionit, stabilitet dimensional dhe karakteristika të tjera, mund të sigurojë një platformë të qëndrueshme mbështetëse për procesin PECVD, për të siguruar uniformitetin dhe rrafshin e depozitimit të filmit.

Dizajni "mbështetje grafiti" i mbështetjes së vaferës së grafitit VET Energy jo vetëm që mund të mbështesë në mënyrë efektive vaferën, por gjithashtu të sigurojë stabilitet termik në mjedisin PECVD me temperaturë të lartë dhe presion të lartë për të siguruar stabilitetin e procesit.

Mbështetja e vaferës së grafitit të procesit PECVD të Energjisë VET ka karakteristikat e mëposhtme:

▪Pastërti e lartë:përmbajtje jashtëzakonisht të ulët të papastërtive, shmangni kontaminimin e filmit, për të siguruar cilësinë e filmit.

▪Dendësi e lartë:densitet të lartë, forcë të lartë mekanike, mund të përballojë temperaturë të lartë dhe presion të lartë mjedis PECVD.

▪Stabilitet i mirë dimensional:ndryshime të vogla dimensionale në temperaturë të lartë për të siguruar stabilitetin e procesit.

▪Përçueshmëri e shkëlqyer termike:transferoni në mënyrë efektive nxehtësinë për të parandaluar mbinxehjen e vaferës.

▪Rezistencë e fortë ndaj korrozionit:Në gjendje t'i rezistojë erozionit nga gazra të ndryshëm gërryes dhe plazma.

▪Shërbimi i personalizuar:Tabelat mbështetëse grafiti të madhësive dhe formave të ndryshme mund të personalizohen sipas nevojave të klientit.

Materiali grafit nga SGL:

Parametri tipik: R6510
Indeksi	Standardi i testimit	Vlera	Njësia
Madhësia mesatare e kokrrës	ISO 13320	10	μm
Dendësia e masës	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Poroziteti i hapur	DIN66133	10	%
Madhësia mesatare e poreve	DIN66133	1.8	μm
Përshkueshmëria	DIN 51935	0.06	cm²/s
Fortësia Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistenca elektrike specifike	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Forca në përkulje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistenca në shtypje	DIN 51910	130	MPa
Moduli i Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Zgjerimi termik (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Përçueshmëri termike (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Është projektuar posaçërisht për prodhimin e qelizave diellore me efikasitet të lartë, duke mbështetur përpunimin e vaferës me madhësi të madhe G12. Dizajni i optimizuar i transportuesit rrit ndjeshëm xhiros, duke mundësuar norma më të larta rendimenti dhe kosto më të ulëta prodhimi.

Artikulli	Lloji	Mbajtëse meshë me numra
Varkë PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 varkë grefite	144
	156-19 varkë grefite	216
	156-21 varkë grefite	240
	156-23 varkë grafiti	308
Varkë PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 varkë grefite	196
	125-19 varkë grefite	252
	125-21 varkë grfite	280