Struktura e brendshme e pajisjes së tubit të furrës shpjegohet në detaje

Siç u tregua më lart, është një tipik

Pjesa e parë:

▪ Elementi ngrohës (spiralja e ngrohjes):

i vendosur rreth tubit të furrës, zakonisht i bërë nga tela rezistence, që përdoret për të ngrohur pjesën e brendshme të tubit të furrës.

▪ Tub kuarci:

Bërthama e një furre të nxehtë oksidimi, e bërë nga kuarci me pastërti të lartë që mund t'i rezistojë temperaturave të larta dhe të mbetet kimikisht inerte.

▪ Ushqimi i gazit:

E vendosur në pjesën e sipërme ose anësore të tubit të furrës, përdoret për të transportuar oksigjen ose gazra të tjerë në brendësi të tubit të furrës.

▪ Fllanxha SS:

komponentë që lidhin tubat kuarci dhe linjat e gazit, duke siguruar ngushtësinë dhe qëndrueshmërinë e lidhjes.

▪ Linjat e furnizimit me gaz:

Tuba që lidhin MFC me portën e furnizimit me gaz për transmetimin e gazit.

▪ MFC (Kontrolluesi i rrjedhës masive):

Një pajisje që kontrollon rrjedhën e gazit brenda një tubi kuarci për të rregulluar saktësisht sasinë e kërkuar të gazit.

▪ Ventilimi:

Përdoret për të ajrosur gazin e shkarkimit nga brenda tubit të furrës në pjesën e jashtme të pajisjes.

Pjesa e poshtme:

▪ Vafera silikoni në mbajtëse:

Vaferat e silikonit vendosen në një mbajtës të veçantë për të siguruar nxehtësi uniforme gjatë oksidimit.

▪ Mbajtës vafere:

Përdoret për të mbajtur vaferën e silikonit dhe për të siguruar që vafera e silikonit të mbetet e qëndrueshme gjatë procesit.

▪ Piedestal:

Strukturë që mban një mbajtëse vaferi silikoni, zakonisht e bërë nga një material rezistent ndaj temperaturës së lartë.

▪ Ashensor:

Përdoret për të ngritur mbajtëset e vaferës brenda dhe jashtë tubave kuarci për ngarkimin dhe shkarkimin automatik të vaferave të silikonit.

▪ Roboti i transferimit të vaferës:

e vendosur në anën e pajisjes së tubit të furrës, përdoret për të hequr automatikisht vaferën e silikonit nga kutia dhe për ta vendosur atë në tubin e furrës, ose për ta hequr atë pas përpunimit.