Struktura e brendshme e pajisjes së tubit të furrës shpjegohet në detaje

Siç u tregua më lart, është një tipik

Pjesa e parë:
Elementi i ngrohjes (spiralja e ngrohjes): ndodhet rreth tubit të furrës, zakonisht i bërë nga tela rezistente, që përdoret për të ngrohur pjesën e brendshme të tubit të furrës.
Tub kuarci: Bërthama e një furre të nxehtë oksidimi, e bërë nga kuarci me pastërti të lartë që mund të përballojë temperaturat e larta dhe të mbetet kimikisht inerte.
Ushqimi i gazit: I vendosur në pjesën e sipërme ose anësore të tubit të furrës, përdoret për të transportuar oksigjen ose gazra të tjerë në brendësi të tubit të furrës.
Fllanxha SS: komponentë që lidhin tubat kuarci dhe linjat e gazit, duke siguruar ngushtësinë dhe qëndrueshmërinë e lidhjes.
Linjat e furnizimit me gaz: Tuba që lidhin MFC me portën e furnizimit me gaz për transmetimin e gazit.
MFC (Mass Flow Controller): Një pajisje që kontrollon rrjedhën e gazit brenda një tubi kuarci për të rregulluar saktësisht sasinë e gazit të kërkuar.
Ventilimi: Përdoret për të ajrosur gazin e shkarkimit nga brenda tubit të furrës në pjesën e jashtme të pajisjes.

Pjesa e poshtme
Vafera silikoni në mbajtëse: Vaferat silikoni vendosen në një mbajtës të veçantë për të siguruar nxehtësi uniforme gjatë oksidimit.
Mbajtëse vaferi: Përdoret për të mbajtur vaferën e silikonit dhe për të siguruar që vafera e silikonit të mbetet e qëndrueshme gjatë procesit.
Piedestal: Një strukturë që mban një mbajtëse vaferi silikoni, zakonisht e bërë nga një material rezistent ndaj temperaturës së lartë.
Ashensor: Përdoret për të ngritur mbajtëset e vaferës brenda dhe jashtë tubave kuarci për ngarkimin dhe shkarkimin automatik të vaferave të silikonit.
Roboti i transferimit të vaferës: i vendosur në anën e pajisjes së tubit të furrës, përdoret për të hequr automatikisht vaferën e silikonit nga kutia dhe për ta vendosur atë në tubin e furrës, ose për ta hequr atë pas përpunimit.
Karuseli i ruajtjes së kasetës: Karuseli i ruajtjes së kasetave përdoret për të ruajtur një kuti që përmban vafera silikoni dhe mund të rrotullohet për qasje roboti.
Kasetë me vaferë: kaseta e vaferës përdoret për të ruajtur dhe transferuar vaferat e silikonit që do të përpunohen.