Si të pastroni varkën me grafit PECVD?| Energjisë AAP

1. Mirënjohje para pastrimit

1) KurVarkë me grafit PECVD/bartës është përdorur më shumë se 100 deri në 150 herë, operatori duhet të kontrollojë në kohë gjendjen e veshjes. Nëse ka një shtresë jonormale, ajo duhet të pastrohet dhe konfirmohet. Ngjyra normale e veshjes së vaferës së silikonit në varkën/bartësin me grafit është blu. Nëse vafera ka ngjyra jo të kaltërta, të shumëfishta, ose ndryshimi i ngjyrave midis vaferave është i madh, është një shtresë jonormale dhe shkaku i anomalisë duhet të konfirmohet me kohë.
2) Pas procesit personeli analizon gjendjen e veshjes sëVarkë me grafit PECVD/transportues, ata do të përcaktojnë nëse varka me grafit duhet të pastrohet dhe nëse pika e kartës duhet të zëvendësohet, dhe varka/bartësja me grafit që duhet të pastrohet do t'i dorëzohet personelit të pajisjeve për pastrim.

 

3) Pasvarkë grafiti/ transportuesi është i dëmtuar, personeli i prodhimit do të nxjerrë të gjitha vaferat e silikonit në varkën me grafit dhe do të përdorë CDA (ajrin e kompresuar) për të renditur fragmentet nëvarkë grafiti. Pas përfundimit, personeli i pajisjes do ta ngrejë atë në rezervuarin e acidit që është përgatitur me një pjesë të caktuar të tretësirës HF për pastrim.

 

2. Pastrimi i varkës me grafit

Rekomandohet përdorimi i tretësirës së acidit fluorik 15-25% për tre raunde pastrimi, secili për 4-5 orë, dhe periodikisht flluska e azotit gjatë procesit të njomjes dhe pastrimit, duke shtuar rreth gjysmë ore pastrim; Shënim: nuk rekomandohet përdorimi i ajrit direkt si burim gazi për flluska. Pas turshive, shpëlajeni me ujë të pastër për rreth 10 orë dhe konfirmoni që varka të jetë pastruar mirë. Pas pastrimit, ju lutemi kontrolloni sipërfaqen e varkës, pikën e kartës së grafitit dhe nyjen e fletës së varkës, dhe pjesët e tjera për të parë nëse ka mbetje të nitridit të silikonit. Më pas thajeni sipas kërkesave.

3. Masat paraprake të pastrimit

A) Meqenëse acidi HF është një substancë shumë korrozive dhe ka një paqëndrueshmëri të caktuar, është i rrezikshëm për operatorët. Prandaj, operatorët në postin e pastrimit duhet të marrin masa paraprake sigurie dhe të menaxhohen nga një person i përkushtuar.

B) Rekomandohet të çmontoni varkën dhe të pastroni vetëm pjesën e grafitit gjatë pastrimit, në mënyrë që çdo pjesë e kontaktit të pastrohet më mirë. Aktualisht, shumë prodhues vendas përdorin pastrim të përgjithshëm, gjë që është e përshtatshme, por për shkak se acidi HF është gërryes ndaj pjesëve qeramike, pastrimi i përgjithshëm do të shkurtojë jetën e shërbimit të pjesëve përkatëse.