I. Eksplorimi i parametrave të procesit 1. Sistemi TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Temperatura e depozitimit: Sipas formulës termodinamike, llogaritet se kur temperatura është më e madhe se 1273 K, energjia e lirë Gibbs e reaksionit është shumë e ulët dhe Reagimi është relativisht i plotë. E vërteta...
Lexo më shumë