E pei ona faʻaalia i luga, o se masani
O le afa muamua:
Elemene fa'avevela (coil fa'avevela) : o lo'o fa'ata'amilo i le fa'aauumu, e masani ona faia i uaea fa'atete, fa'aaoga e fa'avevela ai totonu o le fa'aauumu.
Quartz Tube: O le totonugalemu o se ogaumu vevela vevela, faia i le quartz maualuga-mama e mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma tumau pea i kemikolo.
Gas Feed: O loʻo i le pito i luga poʻo le itu o le ogaumu ogaumu, e faʻaaogaina e ave ai le okesene poʻo isi kasa i totonu o le ogaumu.
SS Flange: vaega e faʻafesoʻotaʻi paipa quartz ma laina kesi, faʻamautinoa le mau ma le mautu o le fesoʻotaʻiga.
Laina Fafaga Kesi: Paipa e fa'afeso'ota'i le MFC i le uafu sapalai kesi mo le fa'asalalauina o kesi.
MFC (Mass Flow Controller) : O se masini e pulea le tafega o le kesi i totonu o se paipa quartz e faʻatonutonu tonu le aofaʻi o le kesi e manaʻomia.
Pusa: Fa'aaoga e fa'aoso ai le kesi fa'asu'u mai totonu o le ogaumu fa'agaau i fafo o mea faigaluega.
Vaega pito i lalo
Silicon Wafers in Holder: Silicon wafers o lo'o tu'uina i totonu o se Fa'amau fa'apitoa e fa'amautinoa ai le vevela tutusa i le taimi o fa'ama'i.
Wafer Holder: Fa'aaoga e uu ai le masi fa'asilika ma fa'amautinoa o lo'o tumau pea le fa'amaufa'ailoga silicon i le faagasologa.
Pedestal: O se fausaga e uu ai se mea fa'apipi'i masima silicon, e masani ona faia i se mea e fa'asa'o maualuga le vevela.
Lifi: Fa'aoga e si'i ai i'a Wafer i totonu ma fafo o paipa quartz mo le otometi le utaina ma le la'u 'ese'ese o mea fa'apipi'i.
Wafer Transfer Robot: o loʻo i luga o le itu o le ogaumu faʻapipiʻi masini, e faʻaaogaina e aveese faʻafuaseʻi ai le faʻafefe o le silicon mai le atigipusa ma tuʻu i totonu o le ogaumu ogaumu, pe aveese pe a uma le gaioiga.
Cassette Storage Carousel: Cassette storage carousel e fa'aoga e teu ai se atigipusa o lo'o i ai fa'ama'i kasa ma e mafai ona fesuia'i mo le fa'aogaina o le robot.
Kaseti Wafer: kaseti wafer e fa'aoga e teu ma fa'asolo atu ai kaseti kalasi e fa'agaioia.
Taimi meli: Apr-22-2024