O loʻo faʻamatalaina auiliili le fausaga o totonu o le ogaumu faʻapipiʻi

E pei ona faʻaalia i luga, o se masani

O le afa muamua:

▪ Elemene fa'avevela (coil fa'avevela):

o lo'o fa'ata'amilo i le fa'apa'au o le ogaumu, e masani lava ona faia i uaea fa'atete'e, fa'aaoga e fa'avevela ai totonu o le fa'aumu.

▪ Paipa Kuata:

O le totonugalemu o se ogaumu vevela vevela, faia i le quartz maualuga-mama e mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma tumau pea i kemikolo.

▪ Fafaga kesi:

O loʻo i le pito i luga poʻo le itu o le ogaumu ogaumu, e faʻaaogaina e ave ai le okesene poʻo isi kasa i totonu o le ogaumu.

▪ SS Flange:

vaega e faʻafesoʻotaʻi paipa quartz ma laina kesi, faʻamautinoa le mau ma le mautu o le fesoʻotaʻiga.

▪ Laina Fafaga Kesi:

Paipa e fa'afeso'ota'i le MFC i le uafu sapalai kesi mo le fa'asalalauina o kesi.

▪ MFC (Mass Flow Pule) :

Ose masini e pulea le tafega o le kesi i totonu o se paipa quartz e fa'atonutonu tonu le aofa'i o le kesi e mana'omia.

▪ Savili:

Fa'aoga e fa'aoso ai le kesi fa'asu'u mai totonu o le ogaumu fa'aumu i fafo o mea faigaluega.

Vaega pito i lalo:

▪ Silicon Wafers i totonu o le Uu:

Silicon wafers o loʻo tuʻuina i totonu o se Faʻamau Faʻapitoa e faʻamautinoa ai le vevela tutusa i le taimi o le faʻamaʻiina.

▪ U'u Wafer:

Fa'aoga e taofi ai le fa'asala silikoni ma fa'amautinoa o lo'o tumau pea le fa'amaufa'ailoga silicon i le faagasologa.

▪ Fa'avae:

O se fausaga o lo'o fa'amauina ai se fa'apipi'i masi fa'asolo, e masani ona faia i se mea e fa'asa'o maualuga le vevela.

▪ Lifi:

Fa'aoga e si'i a'e ai Wafer u'u i totonu ma fafo o paipa quartz mo le otometi le utaina ma le la'u 'ese'ese o masi fa'asolo.

▪ Wafer Transfer Robot:

o loʻo i luga o le itu o le ogaumu faʻapipiʻi masini, e faʻaaogaina e otometi lava ona aveese le silicon wafer mai le atigipusa ma tuʻu i totonu o le ogaumu ogaumu, pe aveese pe a uma le gaioiga.

▪ Kaseti Teuina Carousel:

Kaseti teu oloa e fa'aoga e teu ai se atigipusa o lo'o i ai masi fa'asolo ma e mafai ona fesuia'i mo le fa'aogaina o le robot.

▪ Kaseti Wafer:

kaseti wafer e fa'aoga e teu ma fa'aliliuina ai masi fa'asolo e fa'agaioia.