O le gaosiga o masini semiconductor e masani lava ona aofia ai masini tu'ufa'atasi, feso'ota'iga tu'ufa'atasi ma a latou faiga fa'apipi'i.
E mafai ona vaevaeina le gaosiga o Semiconductor i ni vaega se tolu: gaosiga o meafaitino tino, oloawafergaosiga ma masini fa'apipi'i. Faatasi ai ma i latou, o le sili ona leaga o le filogia o le gaosiga o oloa wafer tulaga.
O mea filogia e masani ona vaevaeina i vai otaota, kesi otaota ma otaota malo.
Fa'agasologa o le gaosiga o Chip:
Silicon waferpe a mae'a le olo i fafo - fa'amama - fa'ama'i - fa'ama'i fa'ama'i - fa'a'ofuofu fa'a'ofu'ofu - fa'apolokalame ata - fa'atupuina - fa'asolo - fa'asalalauina, fa'apipi'iina o le ion - fa'a'afu vaila'au fa'ama'i - fa'amalo fa'ainisinia - metallization, ma isi.
Suavai otaota
Ole tele ole suavai leaga o lo'o fa'atupuina i laasaga ta'itasi ole gaosiga ole semiconductor ma su'ega fa'apipi'i, e masani lava ole vai lapisi fa'asa'o, vai ta'i ammonia ma vai otaota fa'aola.
1. Suavai otaota e iai le fluorine:
Hydrofluoric acid e avea ma solu autu e faʻaaogaina i le faʻamaʻiina ma le faʻaogaina o gaioiga ona o lona faʻamaʻi ma mea faʻaleagaina. Suavai otaota o lo'o i ai le fluorine i totonu o le fa'agasologa e masani lava ona sau mai le fa'agasologa fa'asalalau ma fa'apolokalame fa'ainisinia fa'amalama i totonu o le gaosiga o masini. I le fa'amamāina o fa'ama'i fa'asilika ma mea fa'atatau, e fa'aaogaina fo'i le fa'atele o le acid hydrochloric. O nei fa'agasologa uma e fa'amae'aina i tane va'ava'ai fa'apitoa po'o masini fa'amamā, o lea e mafai ai ona tu'u fa'atasi le vai otaota o lo'o iai le fluorine. E tusa ai ma le faʻatonuga, e mafai ona vaevaeina i le maualuga o le fluorine-o loʻo i ai le suavai leaga ma le maualalo o le ammonia o loʻo i ai le suavai leaga. E masani lava, o le maualuga o le faʻaogaina o le ammonia e iai le suavai leaga e mafai ona oʻo atu i le 100-1200 mg / L. O le tele o kamupani e toe fa'aaogaina lea vaega ole suavai leaga mo faiga e le mana'omia ai le maualuga ole suavai.
2. Suavai lapisi fa'avae acid:
Toeitiiti lava o fa'agasologa uma i le fa'agasologa o gaosiga fa'atasi e mana'omia ai le fa'amama o le pu. I le taimi nei, o le sulfuric acid ma le hydrogen peroxyide e sili ona masani ona faʻaaogaina vai faʻamamaina i totonu o le faʻagasologa o gaosiga faʻatasi. I le taimi lava e tasi, o loʻo faʻaaogaina foʻi vailaʻau faʻavae e pei o le nitric acid, hydrochloric acid ma le ammonia vai.
Ole vai fa'ameamea ole gaosiga ole gaosiga e masani lava ona sau mai le fa'amamāina ile fa'agasologa ole gaosiga. I le faagasologa o le afifiina, o le pu e togafitia i le vaifofo o le acid-base i le taimi o le eletise ma le suʻesuʻeina o vailaʻau. A maeʻa togafitiga, e manaʻomia ona fufulu ile vai mama e maua ai le vai lapisi faʻavae acid-base. E le gata i lea, o vailaʻau faʻavae e pei o le sodium hydroxide ma le hydrochloric acid o loʻo faʻaogaina foi i totonu o le vai mama e toe faʻafouina ai le anion ma cation resins e maua ai le suavai otaota toe faʻafouina. Ole vai fufulu si'usi'u e gaosia fo'i ile fa'agasologa ole fufulu kasa ole kasa. I totonu o kamupani gaosiga fa'atasi, o le aofa'i o vai fa'ameamea e matua tele lava.
3. Suavai otaota fa'aletino:
Ona o faʻagasologa o gaosiga eseese, o le aofaʻi o solvents organic faʻaaogaina i le semiconductor alamanuia e matua ese lava. Ae ui i lea, i le avea ai ma mea faʻamamā, solvents organic o loʻo faʻaaogaina lautele i soʻotaga eseese o faʻapipiʻi gaosiga. O nisi solvents e avea ma otaota otaota otaota.
4. Isi suavai leaga:
O le faʻagasologa o le faʻaogaina o le gaosiga o le semiconductor o le a faʻaaogaina ai le tele o le ammonia, fluorine ma le maualuga o le vai mama mo le faʻaleagaina, ma faʻatupuina ai le faʻaogaina o le ammonia-o loʻo i ai le lafoaia o le suavai leaga.
E manaʻomia le faʻaogaina o le eletise i le faʻapipiʻiina o le semiconductor process. E mana'omia ona fa'amama le pu pe a uma le fa'aeletonika, ma o le a fa'atupuina le suavai fa'amama eletise ile faiga lea. Talu ai o nisi metala o loʻo faʻaaogaina i le eletise, o le ai ai le faʻaaogaina o le uʻamea i totonu o le faʻamamaina o vai otaota, e pei o le taʻitaʻi, apa, tisiketi, zinc, alumini, ma isi.
Fa'amama kasa
Talu ai o le faiga o le semiconductor e maualuga tele le manaʻomia mo le mama o le potu taʻavale, e masani ona faʻaaogaina tagata e faʻaaogaina ituaiga o kasa otaota faʻafefe i le faagasologa. O le mea lea, o le faʻaaogaina o kasa i totonu o le semiconductor alamanuia o loʻo faʻaalia i le tele o le gaogao ma le maualalo o le faʻaogaina. E tele fo'i fa'aletonu le fa'aosoina o kasa otaota.
O nei kasa otaota e mafai ona vaevaeina i ni vaega se fa: kasa acidic, kasa alkaline, kasa otaota faʻalaʻau ma kasa oona.
1. kasa lapisi fa'avae acid:
Acid-base otaota kasa e masani lava ona sau mai le salalau,CVD, CMP ma faiga etching, lea e faʻaogaina ai le vaifofo faʻamamaina o le acid-base e faʻamama ai le wafer.
I le taimi nei, o le mea e sili ona masani ona faʻaaogaina e faʻamamaina ai le soli i le gaosiga o le semiconductor o le faʻafefiloi o le hydrogen peroxyide ma le sulfuric acid.
O le kesi otaota e gaosia i nei faiga e aofia ai kasa acidic e pei ole sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid ma le phosphoric acid, ma o le kasa alkaline o le ammonia.
2. Kesi otaota fa'aletino:
O kasa otaota fa'aletino e masani lava ona sau mai fa'agasologa e pei o le photolithography, atina'e, etching ma fa'asalalauina. I nei faiga, o vaifofo faʻalaʻau (e pei o le isopropyl alcohol) e faʻaaogaina e faʻamama ai luga o le wafer, ma o le kesi otaota e maua mai i le faʻafefe o se tasi lea o faʻapogai o otaota otaota;
I le taimi lava e tasi, o le photoresist (photoresist) o loʻo faʻaaogaina i le faagasologa o le photolithography ma le etching o loʻo i ai ni solvents faʻasolosolo faʻasolosolo, e pei o le butyl acetate, lea e faʻafefe i totonu o le ea i le faagasologa o le gaosiga o le wafer, o se isi puna o otaota otaota.
3. Kesi otaota oona:
O kasa oona oona e masani lava ona sau mai faiga e pei o le epitaxy tioata, fa'agogo etching ma le CVD. I nei faiga, o loʻo faʻaaogaina le tele o kasa faʻapitoa maualuga-mama e faʻaogaina ai le wafer, e pei o le silicon (SiHj), phosphorus (PH3), carbon tetrachloride (CFJ), borane, boron trioxide, ma isi. fa'afefete ma pala.
I le taimi lava e tasi, i le etching mago ma le faamamaina o le faagasologa ina ua maeʻa le teuina o ausa vailaʻau i semiconductor gaosiga, e manaʻomia se aofaiga tele o le oxide atoa (PFCS) kasa, e pei o le NFS, C2F & CR, C3FS, CHF3, SF6, ma isi. maua malosi absorption i le itulagi malamalama infrared ma tumau i le siosiomaga mo se taimi umi. E masani ona manatu latou o le puna autu o le aafiaga o le greenhouse i le lalolagi.
4. Fa'apipi'i fa'agasologa kesi otaota:
Pe a faatusatusa i le faiga o le gaosiga o le semiconductor, o le kesi otaota na gaosia e le faiga o le afifiina o le semiconductor e faigofie tele, e masani lava o le acidic gas, epoxy resin ma le pefu.
O kasa otaota oona e masani lava ona gaosia i faiga e pei o le fa'aeletise;
O kesi otaota fa'avela e gaosia i le faagasologa o le taoina pe a uma ona faapipii ma fa'amaufa'ailoga oloa;
O le masini dicing e gaosia otaota otaota o lo'o i ai le pefu silikoni i le faagasologa o le tipiina.
Fa'afitauli filogia o le siosiomaga
Mo faʻafitauli faʻaleagaina o le siosiomaga i totonu o pisinisi semiconductor, o faʻafitauli autu e manaʻomia ona foia o:
· Le tele o le fa'aosoina o mea filogia o le ea ma vaila'au fa'aola (VOCs) i le fa'agasologa o ata;
· Fa'asa'oina o mea fa'apipi'i (PFCS) i le fa'asalaina o le plasma ma le fa'aputuina o ausa vaila'au;
· Fa'ateleina le taumafaina o le malosi ma le vai i le gaosiga ma le puipuiga o le saogalemu o tagata faigaluega;
· Toe fa'aaogaina ma le mata'ituina o le filogia o oloa fa'alaiti;
· Fa'afitauli o le fa'aogaina o vaila'au mata'utia i faiga fa'apipi'i.
Fa'amama gaosiga
Semiconductor masini mama gaosiga tekinolosi e mafai ona faʻaleleia mai itu o mea mataʻutia, faʻagasologa ma le faʻatonutonuina o gaioiga.
Fa'aleleia mea mata ma le malosi
Muamua, o le mama o mea e tatau ona matua faʻatonutonuina e faʻaitiitia ai le faʻaofiina o mea le mama ma vaega.
Lona lua, eseese o le vevela, vaʻaia le vaʻaia, vibration, maualuga-voltage eletise ma isi suʻega e tatau ona faia i luga o vaega o loʻo oʻo mai poʻo oloa semi-maea aʻo leʻi tuʻuina i le gaosiga.
E le gata i lea, o le mama o mea fesoasoani e tatau ona matua pulea. E tele naua tekinolosi e mafai ona faʻaaogaina mo le gaosiga mama o le malosi.
Fa'alelei le faiga o le gaosiga
Ole alamanuia semiconductor lava ia e taumafai e fa'aitiitia lona a'afiaga ile si'osi'omaga e ala ile fa'aleleia atili o tekonolosi.
Mo se fa'ata'ita'iga, i le vaitau o le 1970, sa masani ona fa'aogaina so'o so'o e fa'amama ai fa'ama'i i totonu ole masini fa'amama eletise tu'ufa'atasi. I le vaitau o le 1980, o vaifofo oona ma alkali e pei o le sulfuric acid sa fa'aaogaina e fa'amama ai masi. Seʻia oʻo i le 1990s, na atiaʻe tekinolosi faʻamamaina o le okesene plasma.
I tulaga o le afifiina, o le tele o kamupani o loʻo faʻaogaina nei tekinolosi eletise, lea o le a mafua ai le faʻaleagaina o uʻamea mamafa i le siosiomaga.
Ae ui i lea, o laʻau faʻapipiʻi i Shanghai e le o toe faʻaogaina tekinolosi eletise, o lea e leai se aʻafiaga o metala mamafa i luga o le siosiomaga. E mafai ona maua o le semiconductor alamanuia faasolosolo faaitiitia lona aafiaga i luga o le siosiomaga e ala i le faaleleia o faagasologa ma suitulaga kemikolo i lona lava faagasologa atinae, lea e mulimulitaia ai foi le tulaga o le atinae o le lalolagi i le taimi nei o le fautuaina faagasologa ma mamanu oloa e faavae i luga o le siosiomaga.
I le taimi nei, o loʻo faʻatinoina le tele o faʻaleleia o faiga faʻalotoifale, e aofia ai:
· Suiga ma le faʻaitiitia o le ammonium PFCS gas uma, e pei o le faʻaogaina o le PFCs gas ma le maualalo o le greenhouse effect e sui ai le kesi ma le maualuga o le greenhouse effect, e pei o le faʻaleleia o le faagasologa o le tafe ma faʻaitiitia le aofaʻi o le PFCS gas faʻaaogaina i le faagasologa;
· Faʻaleleia atili le faʻamamaina o le tele-wafer i le faʻamamaina tasi-wafer e faʻaitiitia ai le aofaʻi o vailaʻau faʻamama vailaʻau o loʻo faʻaaogaina i le faʻamama.
· Fa'atonu faiga fa'atonu:
a. Iloa otometi o gaosiga faagasologa, lea e mafai ona iloa saʻo faagasologa ma batch gaosiga, ma faʻaitiitia le maualuga o mea sese o le faʻaogaina o le tusi lesona;
e. Ultra-mama le faagasologa o le siosiomaga, e tusa ma le 5% pe itiiti ifo o le gau o fua e mafua mai i tagata ma le siosiomaga. Ultra-mama le faagasologa o le siosiomaga e masani lava ona aofia ai le mama o le ea, maualuga-mama vai, ea compressed, CO2, N2, vevela, susu, ma isi. O le tulaga mama o se faleaoga mama e masani ona fuaina i le numera aupito maualuga o vaega e faatagaina i le voluma iunite o o le ea, o lona uiga, o le fa'atonuga o fuainumera;
i. Fa'amalosia le su'esu'eina, ma filifili vaega taua talafeagai mo le su'eina i fale faigaluega ma le tele o otaota i le taimi o le gaosiga.
Faʻafeiloaʻi soʻo se tagata faʻatau mai le lalolagi atoa e asiasi mai mo se isi talanoaga!
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Taimi meli: Aukuso-13-2024