Talu mai lona mauaina, silicon carbide ua tosina atu i ai tagata lautele. Silicon carbide e aofia ai le afa Si atoms ma le afa C atoms, lea e fesoʻotaʻi i soʻo faʻatasi e ala i paʻu eletise e fefaʻasoaaʻi sp3 hybrid orbitals. I totonu o le iunite faavae o lona tioata e tasi, e fa Si atoms o loʻo faʻatulagaina i se fausaga tetrahedral masani, ma o le C atom o loʻo i le ogatotonu o le tetrahedron masani. I le isi itu, o le Si atom e mafai foi ona manatu o le totonugalemu o le tetrahedron, ma faia ai le SiC4 poʻo le CSi4. Tetrahedral fausaga. O le fusi fa'atasi i le SiC e maualuga le ionic, ma o le malosi fa'amau-carbon bond e maualuga tele, e tusa ma le 4.47eV. Ona o le maualalo o le faʻaogaina o le malosi, o tioata carbide silicon e faigofie ona fausia ni polytypes eseese i le faagasologa o le tuputupu ae. E sili atu i le 200 polytypes iloa, lea e mafai ona vaevaeina i ni vaega tetele se tolu: kupita, hexagonal ma trigonal.
I le taimi nei, o auala autu o le tuputupu aʻe o tioata SiC e aofia ai Metotia Feʻaveaʻi Vaʻavaʻa Faaletino (PVT method), High Temperature Chemical Vapor Deposition (HTCVD method), Liquid Phase Method, ma isi. gaosiga tele. ;
O le auala e taʻua o le PVT e faʻatatau i le tuʻuina o tioata fatu SiC i luga o le pito i luga o le fagu, ma le tuʻuina o le paʻu SiC e fai ma mea mata i le pito i lalo o le fagu. I totonu o se siosiomaga tapunia o le maualuga o le vevela ma le maualalo o le mamafa, o le paʻu o le SiC e faʻapipiʻi ma agai i luga i lalo o le gaioiga o le faʻasolosolo o le vevela ma le eseesega o le faʻaogaina. O se auala e felauai ai i tafatafa o le tioata o fatu ona toe faʻamaʻaina pe a oʻo i se tulaga supersaturated. O lenei metotia e mafai ona ausia le tuputupu aʻe o le SiC tioata tetele ma foliga tioata faʻapitoa. ;
Ae ui i lea, o le faʻaaogaina o le auala PVT e faʻatupu ai tioata SiC e manaʻomia ai le tausia o tulaga talafeagai o le tuputupu aʻe i le faagasologa o le tuputupu aʻe umi, a le o lea o le a taʻitaʻia ai le faʻamaʻi lattice, ma aʻafia ai le lelei o le tioata. Ae ui i lea, o le tuputupu aʻe o tioata SiC ua maeʻa i se avanoa tapuni. E itiiti ni metotia mata'ituina lelei ma le tele o fesuiaiga, o le mea lea e faigata ai le puleaina o le faagasologa.
I le faagasologa o le tuputupu aʻe o tioata SiC e ala i le auala PVT, o le laasaga o le tuputupu aʻe o le laasaga (Step Flow Growth) ua manatu o le auala autu lea mo le tuputupu aʻe mautu o se foliga tioata e tasi.
O atoms Si ma C atoms ua fa'afefeteina o le a sili ona fa'apipi'i fa'atasi ma atoma tioata i luga o le kink point, lea o le a latou nuclei ma tuputupu a'e, ma mafua ai ona tafe i luma laasaga ta'itasi i le tutusa. A oʻo i le lautele o le laasaga i luga o le tioata e sili atu nai lo le faʻasalalauina o auala saoloto o adatoms, o se numera tele o adatoms e mafai ona agglomerate, ma o le lua-dimensional motu-pei o le tuputupu aʻe faiga faʻavae o le a faʻaumatia ai le laasaga o le tuputupu aʻe auala, e mafua ai le leiloa o le 4H. faʻamatalaga fausaga tioata, e mafua ai le tele o faaletonu. O le mea lea, o le fetuunaiga o faʻasologa faʻasologa e tatau ona ausia le faʻatonutonuina o le fausaga o le laʻasaga i luga, ma taofia ai le faʻatupuina o faaletonu polymorphic, ausia le faʻamoemoe o le mauaina o se tasi tioata tioata, ma iu ai ina saunia tioata maualuga.
A'o fa'atupuina muamua le SiC fa'atupuina tioata, o le auala fela'ua'i ausa o lo'o avea nei ma auala sili ona fa'atupuina mo le fa'atupuina o tioata SiC. Pe a faʻatusatusa i isi metotia, o lenei metotia e maualalo le manaʻomia mo meafaigaluega tuputupu aʻe, o se faʻagasologa faigofie o le tuputupu aʻe, faʻamalosia malosi, suʻesuʻega atinaʻe maeʻaeʻa, ma ua uma ona ausia le faʻaaogaina o pisinisi. O le lelei o le auala HTCVD e mafai ona tupu conductive (n, p) ma maualuga-mama mama semi-insulating wafers, ma e mafai ona pulea le doping concentration ina ia mafai ai ona fetuutuunai le ave taavale i le wafer i le va 3 × 1013 ~ 5 × 1019. /cm3. O mea le lelei o le maualuga o tulaga faʻapitoa ma le maualalo o le maketi. A'o fa'aauau pea le fa'atuputeleina o tekinolosi fa'atupu tioata SiC-vai, o le a fa'aalia ai le malosi tele i le fa'alauteleina o le pisinisi SiC atoa i le lumana'i ma e ono avea ma se tulaga fou fou i le tuputupu a'e tioata SiC.
Taimi meli: Apr-16-2024