Prednosti obdelave LMJ
Pomanjkljivosti običajne laserske obdelave je mogoče premagati s pametno uporabo tehnologije laserskega laserskega mikro curka (LMJ) za širjenje optičnih značilnosti vode in zraka. Ta tehnologija omogoča, da laserski impulzi, ki se popolnoma odbijejo v obdelanem vodnem curku visoke čistosti, nemoteno dosežejo obdelovalno površino kot v optičnih vlaknih. Z vidika uporabe so glavne značilnosti tehnologije LMJ naslednje:
1. Laserski žarek je stolpičasta (vzporedna) struktura.
2. Laserski impulz se prenaša v vodnem curku kot optično vlakno, ki je zaščiteno pred motnjami iz okolja.
3. Laserski žarek je fokusiran v opremi LMJ in med celotnim postopkom obdelave ni nobene spremembe višine obdelane površine, tako da ni potrebe po nenehnem fokusiranju s spremembo globine obdelave med postopkom obdelave.
4. Poleg ablacije materiala obdelovanca, ki se zgodi med vsakim laserskim impulzom, je približno 99 % časa v vsaki posamezni enoti časa od začetka vsakega impulza do naslednjega impulza obdelani material v realnem času ohlajen vode, s čimer se skoraj izbriše toplotno prizadeta cona in pretalilna plast, vendar se ohrani visoka učinkovitost obdelave.
5. Nadaljujte s čiščenjem obdelane površine.
Splošna specifikacija | LCSA-100 | LCSA-200 |
Volumen pulta | 125 x 200 x 100 | 460×460×300 |
Linearna os XY | Linearni motor. Linearni motor | Linearni motor. Linearni motor |
Linearna os Z | 100 | 300 |
Natančnost pozicioniranja μm | +/- 5 | +/- 3 |
Ponavljajoča se natančnost pozicioniranja μm | +/- 2 | +/- 1 |
Pospešek G | 0,5 | 1 |
Numerično krmiljenje | 3-osni | 3-osni |
Laser |
|
|
Vrsta laserja | DPSS Nd: YAG | DPSS Nd: YAG, impulz |
Valovna dolžina nm | 532/1064 | 532/1064 |
Nazivna moč W | 50/100/200 | 200/400 |
Vodni curek |
|
|
Premer šobe μm | 25-80 | 25-80 |
Tlak šobe bar | 100-600 | 0-600 |
Velikost/teža |
|
|
Mere (stroj) (Š x D x V) | 1050 x 800 x 1870 | 1200 x 1200 x 2000 |
Mere (kontrolna omarica) (Š x D x V) | 700 x 2300 x 1600 | 700 x 2300 x 1600 |
Teža (oprema) kg | 1170 | 2500-3000 |
Teža (kontrolna omarica) kg | 700-750 | 700-750 |
Celovita poraba energije |
|
|
Input | AC 230 V +6%/ -10%, enosmerno 50/60 Hz ±1% | AC 400 V +6%/-10%, 3-fazni 50/60 Hz ±1% |
Največja vrednost | 2,5 kVA | 2,5 kVA |
Join | 10 m napajalni kabel: P+N+E, 1,5 mm2 | 10 m napajalni kabel: P+N+E, 1,5 mm2 |
Razpon uporabniških aplikacij v industriji polprevodnikov | ≤4 palcev okrogel ingot ≤4 palcev rezine ingota ≤4 palcev zarezovanje ingotov
| ≤6 palcev okrogel ingot ≤6-palčne rezine ingota ≤6 palcev zarezovanje ingotov Stroj izpolnjuje teoretično vrednost 8-palčnega krožnega/rezanja/rezanja, za posebne praktične rezultate pa je treba optimizirati strategijo rezanja |