SiC prevleka/prevlečen grafitni substrat/pladenj za polprevodnike

Kratek opis:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Prevleka SiC/prevlečena z grafitnim sprejemnikom za polprevodnike

TheSiC prevlečen grafitni substratje zelo vzdržljiva in učinkovita rešitev, zasnovana za izpolnjevanje strogih zahtev industrije obdelave polprevodnikov. Vsebuje plast visoke čistostiprevleko iz silicijevega karbida (SiC)., ta substrat zagotavlja izjemno toplotno stabilnost, odpornost proti oksidaciji in podaljšano življenjsko dobo, zaradi česar je idealen za aplikacije v procesih MOCVD, nosilcih grafitnih rezin in drugih visokotemperaturnih okoljih.

Lastnosti:
· Odlična odpornost na toplotne udarce
· Odlična fizična odpornost na udarce
· Odlična kemična odpornost
· Super visoka čistost
· Razpoložljivost v kompleksni obliki
·Uporabno v oksidativni atmosferi

Uporaba:

Lastnosti in prednosti izdelka:

1. Vrhunska toplotna odpornost:Z visoko čistostjoSiC prevleka, substrat prenese ekstremne temperature, kar zagotavlja dosledno delovanje v zahtevnih okoljih, kot sta epitaksija in izdelava polprevodnikov.

2. Izboljšana vzdržljivost:Grafitne komponente, prevlečene s SiC, so zasnovane tako, da so odporne proti kemični koroziji in oksidaciji, kar podaljša življenjsko dobo substrata v primerjavi s standardnimi grafitnimi substrati.

3. Grafit s steklasto prevleko:Edinstvena struktura steklastega telesaSiC prevlekazagotavlja odlično površinsko trdoto, kar zmanjšuje obrabo in trganje med visokotemperaturno obdelavo.

4. SiC prevleka visoke čistosti:Naš substrat zagotavlja minimalno kontaminacijo v občutljivih polprevodniških procesih in nudi zanesljivost za industrije, ki zahtevajo strogo čistost materiala.

5. Uporaba na širokem trgu:TheSiC prevlečen grafitni suceptortrg še naprej raste, saj se povpraševanje po naprednih izdelkih, prevlečenih s SiC, v proizvodnji polprevodnikov povečuje, kar ta substrat postavlja kot ključnega igralca tako na trgu nosilcev grafitnih rezin kot na trgu grafitnih pladnjev, prevlečenih s silicijevim karbidom.

Tipične lastnosti osnovnega grafitnega materiala:

Navidezna gostota:	1,85 g/cm3
Električna upornost:	11 μΩm
Upogibna trdnost:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Trdota po Shoru:	58
Pepel:	<5 ppm
Toplotna prevodnost:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje
性质 / lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza 多晶，主要为（111）取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna kapaciteta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
导热系数 / Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida z različnimi premazi, kot so prevleka SiC, prevleka TaC, prevleka iz steklenega ogljika, prevleka iz pirolitskega ogljika itd., lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih institucij in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in izdelali smo ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k odstopljenju.

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!