MOCVD grafitni nosilec s CVD SiC prevleko

Kratek opis:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Grafitni sprejemnik, prevlečen s SiC, je ključna komponenta, ki se uporablja v različnih procesih izdelave polprevodnikov. uporabljamo našo patentirano tehnologijo za izdelavo suceptorja z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo prevleke in odlično življenjsko dobo ter visoko kemično odpornostjo in termično stabilnostjo.

Lastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enotnost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje
性质 / Lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy je pravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida z različnimi premazi, kot so prevleka SiC, prevleka TaC, prevleka iz steklenega ogljika, prevleka iz pirolitskega ogljika itd., lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih institucij in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in izdelali smo ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k odstopljenju.

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!