Epitaksialni pladenj iz silicijevega karbida za epitaksialno peč za polprevodnike

Kratek opis:

Epitaksialni pladenj iz silicijevega karbida VET Energy je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

SiC-induktorji1
SiC-induktorji2

Pladenj iz silicijevega karbida je ključna komponenta, ki se uporablja v različnih postopkih izdelave polprevodnikov. Uporabljamo našo patentirano tehnologijo za izdelavo pladnja iz silicijevega karbida z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo premaza in odlično življenjsko dobo ter visoko kemično odpornostjo in termično stabilnostjo.

VET Energy je pravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida z različnimi premazi, kot so SiC, Tac, pirolitični ogljik, steklasti ogljik itd., lahko dobavlja različne dele po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih institucij in vam lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitve.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov in izdelali smo ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k odstopljenju.

Lastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enotnost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.

4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje

性质 / Lastnina

典型数值 / Tipična vrednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111) 取向

密度 / Gostota

3,21 g/cm³

硬度 / Trdota

2500 维氏硬度(500g obremenitev)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10 μm

纯度 / Kemijska čistost

99,99995 %

热容 / Toplotna zmogljivost

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700 ℃

抗弯强度 / Upogibna trdnost

415 MPa RT 4-točkovno

杨氏模量 / Youngov modul

430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃

导热系数 / TermalPrevodnost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Lepo vas vabimo, da obiščete našo tovarno, pogovorimo se naprej!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Prejšnja:
  • Naprej:

  • Spletni klepet WhatsApp!