SiC prevlečen grafitni nosilec/susceptor

Kratek opis:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju.Ima super dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Suscetpor, prevlečen s SiC, je ključna komponenta, ki se uporablja v različnih procesih izdelave polprevodnikov.Uporabljamo našo patentirano tehnologijo za izdelavo suscetporja, prevlečenega s SiC, z izjemno visoko čistostjo, dobro enakomernostjo premaza in odlično življenjsko dobo ter visoko kemično odpornostjo in termično stabilnostjo.

Lastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700 ℃.
2. Visoka čistost in toplotna enotnost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje
性质 / Lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1