SiC prevlečen sod susceptor

Predstavljena slika sodnega susceptorja, prevlečenega s SiC

Kratek opis:

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor je visoko zmogljiv izdelek, zasnovan tako, da zagotavlja dosledno in zanesljivo delovanje v daljšem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost, odpornost proti eroziji, zaradi česar je odlična rešitev za obdelavo rezin.

Kraj izvora:Kitajska

Kristalna struktura:faza FCCβ

Gostota:3,21 g/cm;

Trdota:2500 Vickerjev;

Velikost zrn:2~10 μm;

Kemijska čistost:99,99995 %;

Toplotna zmogljivost:640J·kg-1·K-1;

Temperatura sublimacije:2700 ℃;

Fleksuralna trdnost:415 Mpa (RT 4-točkovni);

Youngov modul:430 Gpa (upogib 4 točke, 1300 ℃);

Toplotna ekspanzija (CTE):4,5 10-6K-1;

Toplotna prevodnost:300（W/MK）;

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Cev suceptor is a ključkomponenta, ki se uporablja v različnih procesih izdelave polprevodnikov.Za izdelavo uporabljamo našo patentirano tehnologijosod suceptorzizjemno visoka čistost,dobropremazovanjeenotnostin odlično življenjsko dobo, kot tudivisoka kemična odpornost in lastnosti toplotne stabilnosti.

VET Energy je thepravi proizvajalec prilagojenih izdelkov iz grafita in silicijevega karbida s CVD prevleko,lahko dobavirazličnedeli po meri za polprevodniško in fotovoltaično industrijo. Ovaša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov, lahko zagotovi bolj profesionalne materialne rešitveza vas.

Nenehno razvijamo napredne postopke za zagotavljanje naprednejših materialov,inso razvili ekskluzivno patentirano tehnologijo, ki lahko naredi vez med premazom in podlago tesnejšo in manj nagnjeno k ločevanju.

Flastnosti naših izdelkov:

1. Visokotemperaturna oksidacijska odpornost do 1700℃.
2. Visoka čistost intoplotna enakomernost
3. Odlična odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, soli in organski reagenti.
4. Visoka trdota, kompaktna površina, drobni delci.
5. Daljša življenjska doba in bolj trpežna

KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiCpremazovanje
性质 / Lastnina	典型数值 / Tipična vrednost
晶体结构 / Kristalna struktura	FCC β faza多晶，主要为（111) 取向
密度 / Gostota	3,21 g/cm³
硬度 / Trdota	2500 维氏硬度（500g obremenitev）
晶粒大小 / Velikost zrna	2~10 μm
纯度 / Kemijska čistost	99,99995 %
热容 / Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacije	2700 ℃
抗弯强度 / Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
杨氏模量 / Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrevodnost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10^-6K^-1