Grafitni pladenj za nalaganje PECVD

Kratek opis:

Nakladalni pladenj PECVD podjetja VET Energy je zasnovan tako, da zagotavlja varno in enakomerno podporo za rezine med nanašanjem, kar izboljšuje doslednost in kakovost postopka nanašanja. S svojo odlično toplotno odpornostjo grafitni pladenj pomaga vzdrževati nadzorovano okolje v komorah PECVD, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije in zagotavlja visoko učinkovitost postopka.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Nakladalni pladenj VET Energy PECVD je natančen nosilec, zasnovan za postopek PECVD (plazemsko izboljšano kemično naparjevanje). Ta visokokakovosten nanosni grafitni pladenj je izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti z visoko gostoto. Ima odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji, dimenzijsko stabilnost in druge lastnosti. Zagotovi lahko stabilno nosilno platformo za proces PECVD in zagotovi enakomernost in ravnost nanašanja filma.

VET Energy PECVD nakladalni pladnji se pogosto uporabljajo v polprevodnikih, fotovoltaiki, LED in drugih področjih. Na primer:

▪ Polprevodnik: postopek PECVD za polprevodniške materiale, kot so silicijeve rezine in epitaksialne rezine.

▪ Fotovoltaika: postopek PECVD za tanke plasti sončnih celic.

▪ LED: postopek PECVD za LED čipe.

Prednosti izdelka

▪Izboljšajte kakovost filma:Zagotovite enakomerno nanašanje filma in izboljšajte kakovost filma.

▪Podaljšajte življenjsko dobo opreme:Odlična odpornost proti koroziji, podaljša življenjsko dobo opreme PECVD.

▪Zmanjšajte proizvodne stroške:Visokokakovostni grafitni pladnji lahko zmanjšajo stopnjo odpadkov in proizvodne stroške.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Testni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Nasipna gostota	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednje velike pore	DIN66133	1.8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic, ki podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilca znatno poveča pretok, kar omogoča višje stopnje izkoristka in nižje proizvodne stroške.

Postavka	Vrsta	Nosilec rezin številke
PEVCD Grephite čoln - serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 grefitni čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	156-23 grafitni čoln	308
PEVCD Grephite čoln - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 grefitni čoln	252
	125-21 grfitni čoln	280