Podpora za grafitne rezine PECVD

Predstavljena slika podpore za grafitne rezine PECVD

Kratek opis:

Grafitna podpora za rezine VET Energy, oblikovana za natančnost in zmogljivost, je idealen material za uporabo pri napredni obdelavi rezin, kjer sta kritična visoka toplotna stabilnost in dosledna zmogljivost. Ne glede na to, ali delate s polprevodniškimi rezinami ali drugimi občutljivimi substrati, bo ta visokokakovostni grafitni nosilec izboljšal vašo zanesljivost procesa in kakovost izdelka, zaradi česar je nepogrešljiva komponenta za sodobno proizvodnjo.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Podpora za grafitne rezine VET Energy PECVD je osnovni potrošni material, zasnovan za postopek PECVD (plazemsko izboljšano kemično naparjevanje). Ta izdelek je izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti z visoko gostoto, z odlično odpornostjo na visoke temperature, odpornostjo proti koroziji, dimenzijsko stabilnostjo in drugimi značilnostmi, lahko zagotovi stabilno podporno platformo za proces PECVD, da zagotovi enakomernost in ravnost nanašanja filma.

Zasnova "grafitne podpore" podpore za grafitne rezine VET Energy ne more le učinkovito podpirati rezin, temveč tudi zagotoviti toplotno stabilnost v okolju PECVD pri visoki temperaturi in visokem tlaku, da se zagotovi stabilnost postopka.

Podpora za grafitne rezine VET Energy PECVD ima naslednje značilnosti:

▪Visoka čistost:izjemno nizka vsebnost nečistoč, izogibajte se kontaminaciji filma, da zagotovite kakovost filma.

▪Visoka gostota:visoka gostota, visoka mehanska trdnost, lahko prenese visoko temperaturo in visokotlačno okolje PECVD.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:majhne spremembe dimenzij pri visoki temperaturi, da se zagotovi stabilnost postopka.

▪Odlična toplotna prevodnost:učinkovito prenašajo toploto, da preprečijo pregrevanje rezin.

▪Močna odpornost proti koroziji:Odporen proti eroziji zaradi različnih jedkih plinov in plazme.

▪Storitev po meri:Grafitne nosilne mize različnih velikosti in oblik je mogoče prilagoditi glede na potrebe kupca.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Testni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Nasipna gostota	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednje velike pore	DIN66133	1.8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Toplotna ekspanzija (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic, ki podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilca znatno poveča pretok, kar omogoča višje stopnje izkoristka in nižje proizvodne stroške.

Postavka	Vrsta	Nosilec rezin številke
PEVCD Grephite čoln - serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 grefitni čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	156-23 grafitni čoln	308
PEVCD Grephite čoln - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 grefitni čoln	252
	125-21 grfitni čoln	280