Neenakomernost ionskega obstreljevanja
Suhajedkanicaje običajno postopek, ki združuje fizikalne in kemične učinke, pri katerem je ionsko obstreljevanje pomembna metoda fizičnega jedkanja. Medpostopek jedkanja, sta lahko vpadni kot in porazdelitev energije ionov neenakomerna.
Če je vpadni kot ionov različen na različnih mestih na stranski steni, bo tudi učinek jedkanja ionov na stranski steni drugačen. Na območjih z večjimi vpadnimi koti ionov je učinek jedkanja ionov na stransko steno močnejši, kar bo povzročilo, da bo stranska stena na tem območju bolj jedkana, zaradi česar se bočna stena upogne. Poleg tega bo neenakomerna porazdelitev ionske energije povzročila podobne učinke. Ioni z višjo energijo lahko učinkoviteje odstranijo materiale, kar povzroči nedoslednostjedkanicastopinj bočnice na različnih položajih, kar posledično povzroči upogibanje bočnice.
Vpliv fotorezista
Fotorezist ima pri suhem jedkanju vlogo maske, saj ščiti področja, ki jih ni treba jedkati. Vendar pa na fotorezist vplivajo tudi plazemsko bombardiranje in kemične reakcije med postopkom jedkanja, njegova učinkovitost pa se lahko spremeni.
Če je debelina fotorezista neenakomerna, je stopnja porabe med postopkom jedkanja nedosledna ali je oprijem med fotorezistom in substratom različen na različnih lokacijah, lahko povzroči neenakomerno zaščito stranskih sten med postopkom jedkanja. Na primer, območja s tanjšim fotorezistom ali šibkejšim oprijemom lahko povzročijo lažje vrezovanje osnovnega materiala, zaradi česar se stranske stene na teh mestih upognejo.
Razlike v lastnostih substratnih materialov
Sam material jedkane podlage ima lahko različne lastnosti, kot so različne orientacije kristalov in koncentracije dopinga v različnih regijah. Te razlike bodo vplivale na hitrost jedkanja in selektivnost jedkanja.
Na primer, v kristalnem siliciju je razporeditev atomov silicija v različnih kristalnih orientacijah različna, njihova reaktivnost in hitrost jedkanja z jedkalnim plinom pa bosta tudi različni. Med postopkom jedkanja bo zaradi različnih stopenj jedkanja, ki jih povzročajo razlike v lastnostih materiala, globina jedkanja stranskih sten na različnih lokacijah nedosledna, kar na koncu povzroči upogibanje stranskih sten.
Dejavniki, povezani z opremo
Delovanje in status opreme za jedkanje prav tako pomembno vplivata na rezultate jedkanja. Težave, kot sta neenakomerna porazdelitev plazme v reakcijski komori in neenakomerna obraba elektrod, lahko na primer povzročijo neenakomerno porazdelitev parametrov, kot sta ionska gostota in energija, na površini rezin med jedkanjem.
Poleg tega lahko neenakomeren nadzor temperature opreme in rahla nihanja v pretoku plina prav tako vplivajo na enakomernost jedkanja, kar povzroči upogibanje stranske stene.
Čas objave: 3. december 2024