Pakiranje na ravni rezin (FOWLP) je stroškovno učinkovita metoda v industriji polprevodnikov. Toda tipični stranski učinki tega postopka so zvijanje in odmik odrezkov. Kljub nenehnemu izboljševanju ravni rezin in tehnologije pahljače na ravni plošče še vedno obstajajo te težave, povezane z oblikovanjem.
Zvijanje nastane zaradi kemičnega krčenja tekoče kompresijske mase (LCM) med strjevanjem in ohlajanjem po oblikovanju. Drugi razlog za upogibanje je neskladje v koeficientu toplotnega raztezanja (CTE) med silicijevim čipom, materialom za oblikovanje in substratom. Zamik je posledica dejstva, da se viskozni materiali za oblikovanje z visoko vsebnostjo polnila običajno lahko uporabljajo samo pri visoki temperaturi in visokem tlaku. Ko je čip pritrjen na nosilec z začasno vezavo, bo višja temperatura zmehčala lepilo, s čimer bo oslabljena njegova adhezivna moč in zmanjšana njegova sposobnost pritrditve čipa. Drugi razlog za odmik je, da tlak, potreben za oblikovanje, ustvarja napetost na vsakem odrezku.
Da bi našli rešitve za te izzive, je DELO izvedel študijo izvedljivosti z vezavo preprostega analognega čipa na nosilec. Kar zadeva nastavitev, je nosilna rezina prevlečena z lepilom za začasno lepljenje, čip pa je nameščen s sprednjo stranjo navzdol. Nato je bila rezina oblikovana z uporabo lepila DELO z nizko viskoznostjo in strjena z ultravijoličnim sevanjem, preden je bila odstranjena nosilna rezina. V takšnih aplikacijah se običajno uporabljajo termoreaktivni kompoziti z visoko viskoznostjo.
DELO je v poskusu primerjal tudi zvijanje duroplastnih kalupnih materialov in UV utrjenih izdelkov, rezultati pa so pokazali, da bi se tipični kalupni materiali zvijali med ohlajanjem po termoreaktivnem. Zato lahko uporaba ultravijoličnega strjevanja pri sobni temperaturi namesto strjevanja s segrevanjem močno zmanjša vpliv neusklajenosti koeficienta toplotnega raztezanja med zmesjo za vlivanje in nosilcem, s čimer se upogibanje zmanjša do največje možne mere.
Uporaba materialov za strjevanje z ultravijolično svetlobo lahko zmanjša tudi uporabo polnil, s čimer se zmanjšata viskoznost in Youngov modul. Viskoznost modelnega lepila, uporabljenega v preskusu, je 35000 mPa · s, Youngov modul pa 1 GPa. Zaradi odsotnosti segrevanja ali visokega pritiska na oblikovalni material je mogoče odmik odrezkov zmanjšati do največje možne mere. Tipična kalupna masa ima viskoznost približno 800000 mPa · s in Youngov modul v območju dveh števk.
Na splošno so raziskave pokazale, da je uporaba UV utrjenih materialov za oblikovanje velikih površin koristna za izdelavo embalaže na ravni rezin z vodilom čipov, hkrati pa zmanjša zvijanje in odmike čipov v največji možni meri. Kljub znatnim razlikam v koeficientih toplotnega raztezanja med uporabljenimi materiali ima ta postopek še vedno več aplikacij zaradi odsotnosti temperaturnih nihanj. Poleg tega lahko UV strjevanje skrajša čas strjevanja in porabo energije.
UV namesto termičnega utrjevanja zmanjša zvijanje in premik matrice v embalaži na ravni rezin
Primerjava 12-palčnih obloženih rezin z uporabo termično utrjene spojine z visoko vsebnostjo polnila (A) in UV-sušene spojine (B)
Čas objave: Nov-05-2024