Notranja zgradba cevne opreme peči je podrobno razložena

Kot je prikazano zgoraj, je tipično

Prva polovica:

▪ Grelni element (grelna tuljava):

nameščena okoli cevi peči, običajno izdelana iz uporovnih žic, ki se uporablja za ogrevanje notranjosti cevi peči.

▪ Kvarčna cev:

Jedro vroče oksidacijske peči, izdelano iz kremena visoke čistosti, ki lahko prenese visoke temperature in ostane kemično inerten.

▪ Dovod plina:

Nahaja se na zgornji ali stranski strani cevi peči in se uporablja za transport kisika ali drugih plinov v notranjost cevi peči.

▪ SS prirobnica:

komponente, ki povezujejo kvarčne cevi in ​​plinovode ter zagotavljajo tesnost in stabilnost povezave.

▪ Napajalni vodi za plin:

Cevi, ki povezujejo MFC z dovodom plina za prenos plina.

▪ MFC (krmilnik masnega pretoka):

Naprava, ki nadzoruje pretok plina v kvarčni cevi za natančno uravnavanje potrebne količine plina.

▪ Ventilacija:

Uporablja se za odvajanje izpušnih plinov iz notranjosti cevi peči na zunanjo stran opreme.

Spodnji del:

▪ Silicijeve rezine v držalu:

Silicijeve rezine so nameščene v posebnem držalu, ki zagotavlja enakomerno toploto med oksidacijo.

▪ Držalo za rezine:

Uporablja se za držanje silicijeve rezine in zagotavljanje stabilnosti silicijeve rezine med postopkom.

▪ Podstavek:

Struktura, ki drži držalo za silicijeve rezine, običajno izdelano iz materiala, odpornega na visoke temperature.

▪ Dvigalo:

Uporablja se za dvigovanje držal za rezine v kvarčne cevi in ​​iz njih za samodejno nalaganje in praznjenje silicijevih rezin.

▪ Robot za prenos rezin:

ki se nahaja na strani naprave za pečno cev, se uporablja za samodejno odstranjevanje silicijeve rezine iz škatle in njeno namestitev v cev za peč ali odstranitev po obdelavi.

▪ Vrtiljak za shranjevanje kaset:

Vrtiljak za shranjevanje kaset se uporablja za shranjevanje škatle s silicijevimi rezinami in se lahko vrti za dostop robota.

▪ Kaseta z rezinami:

kaseta za rezine se uporablja za shranjevanje in prenos silicijevih rezin, ki jih je treba obdelati.