Kot je prikazano zgoraj, je tipično
Prvi polčas:
Grelni element (grelna tuljava) : nameščen okoli cevi peči, običajno izdelan iz uporovnih žic, ki se uporablja za ogrevanje notranjosti cevi peči.
Kvarčna cev: jedro vroče oksidacijske peči, narejeno iz kremena visoke čistosti, ki lahko prenese visoke temperature in ostane kemično inerten.
Dovod plina: Nahaja se na zgornji ali stranski strani cevi peči in se uporablja za transport kisika ali drugih plinov v notranjost cevi peči.
SS prirobnica: komponente, ki povezujejo kvarčne cevi in plinovode, kar zagotavlja tesnost in stabilnost povezave.
Napajalni vodi za plin: Cevi, ki povezujejo MFC z dovodom plina za prenos plina.
MFC (krmilnik masnega pretoka) : Naprava, ki nadzoruje pretok plina v kvarčni cevi za natančno uravnavanje potrebne količine plina.
Odzračevalnik: Uporablja se za odvajanje izpušnih plinov iz notranjosti cevi peči na zunanjo stran opreme.
Spodnji del
Silicijeve rezine v držalu: Silicijeve rezine so nameščene v posebnem držalu, ki zagotavlja enakomerno toploto med oksidacijo.
Držalo za rezine: Uporablja se za držanje silicijeve rezine in zagotavljanje stabilnosti silicijeve rezine med postopkom.
Podstavek: Struktura, ki drži držalo za silicijeve rezine, običajno izdelano iz materiala, odpornega na visoke temperature.
Dvigalo: Uporablja se za dviganje držal za rezine v kvarčne cevi in iz njih za samodejno nalaganje in praznjenje silicijevih rezin.
Robot za prenos rezin: nahaja se ob strani naprave za cev peči in se uporablja za samodejno odstranjevanje silikonske rezine iz škatle in njeno namestitev v cev peči ali odstranitev po obdelavi.
Vrtiljak za shranjevanje kaset: vrtiljak za shranjevanje kaset se uporablja za shranjevanje škatle s silicijevimi rezinami in se lahko vrti za dostop robota.
Kaseta za rezine: kaseta za rezine se uporablja za shranjevanje in prenos silicijevih rezin, ki jih je treba obdelati.
Čas objave: 22. aprila 2024