Prevleko SiC je mogoče pripraviti s kemičnim naparevanjem (CVD), transformacijo prekurzorja, plazemskim razprševanjem itd. Prevleka, pripravljena s KEMIČNIM naparevanjem, je enotna in kompaktna ter ima dobro obliko. Uporaba metil triklosilana. (CHzSiCl3, MTS) kot vir silicija, priprava prevleke SiC ...
Preberi več