Silicijev karbid (SiC) je nov sestavljeni polprevodniški material. Silicijev karbid ima veliko vrzel v pasu (približno 3-krat večja od silicija), visoko kritično poljsko jakost (približno 10-krat večja od silicija), visoko toplotno prevodnost (približno 3-krat večja od silicija). Je pomemben polprevodniški material naslednje generacije. Prevleke SiC se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov in solarni fotovoltaiki. Zlasti suceptorji, ki se uporabljajo pri epitaksialni rasti LED in Si monokristalni epitaksiji, zahtevajo uporabo SiC prevleke. Zaradi močnega naraščajočega trenda LED v industriji razsvetljave in zaslonov ter močnega razvoja industrije polprevodnikov,SiC premazni izdelekobeti so zelo dobri.
PODROČJE UPORABE
Čistost, SEM struktura, analiza debelineSiC prevleka
Čistost SiC prevlek na grafitu z uporabo CVD je kar 99,9995 %. Njegova struktura je fcc. Filmi SiC, prevlečeni z grafitom, so (111) usmerjeni, kot je prikazano v podatkih XRD (slika 1), kar kaže na njihovo visoko kristalno kakovost. Debelina filma SiC je zelo enakomerna, kot je prikazano na sliki 2.
Slika 2: enakomerna debelina filmov SiC SEM in XRD beta-SiC filma na grafitu
SEM podatki tankega filma CVD SiC, velikost kristalov je 2~1 opm
Kristalna struktura filma CVD SiC je kubična struktura s središčem obraza, orientacija rasti filma pa je blizu 100 %
Prevlečen s silicijevim karbidom (SiC).osnova je najboljša osnova za monokristalni silicij in epitaksijo GaN, ki je osrednja komponenta epitaksijske peči. Podstavek je ključni proizvodni dodatek za monokristalni silicij za velika integrirana vezja. Ima visoko čistost, odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji, dobro zračno tesnost in druge odlične lastnosti materiala.
Uporaba in uporaba izdelka
Grafitni osnovni premaz za epitaksialno rast monokristalnega silicija Primerno za stroje Aixtron itd. Debelina premaza: 90~150 um Premer kraterja rezin je 55 mm.
Čas objave: 14. marec 2022