Epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC) VET Energy je vysokovýkonný polovodičový materiál so širokým pásmovým odstupom s vynikajúcou odolnosťou voči vysokej teplote, vysokou frekvenciou a vysokým výkonom. Je ideálnym substrátom pre novú generáciu výkonových elektronických zariadení. VET Energy využíva pokročilú epitaxnú technológiu MOCVD na pestovanie vysokokvalitných epitaxných vrstiev SiC na substrátoch SiC, čím sa zaisťuje vynikajúci výkon a konzistencia plátku.
Naša epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC) ponúka vynikajúcu kompatibilitu s rôznymi polovodičovými materiálmi vrátane Si Wafer, SiC Substrát, SOI Wafer a SiN Substrát. Vďaka svojej robustnej epitaxnej vrstve podporuje pokročilé procesy, ako je rast Epi Wafer a integráciu s materiálmi ako Gallium Oxide Ga2O3 a AlN Wafer, čím zaisťuje všestranné použitie v rôznych technológiách. Navrhnuté tak, aby boli kompatibilné s priemyselnými štandardnými systémami na manipuláciu s kazetami, zaisťujú efektívne a efektívne operácie v prostrediach výroby polovodičov.
Produktový rad VET Energy nie je obmedzený na SiC epitaxné doštičky. Poskytujeme tiež širokú škálu polovodičových substrátových materiálov, vrátane Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer atď. Okrem toho tiež aktívne vyvíjame nové polovodičové materiály so širokým pásmovým odstupom, ako je oxid gália Ga2O3 a AlN Wafer, aby sa splnil dopyt budúceho odvetvia výkonovej elektroniky po zariadeniach s vyšším výkonom.
![第6页-36](http://www.vet-china.com/uploads/第6页-36.png)
![6页-35](http://www.vet-china.com/uploads/第6页-35.png)
ŠPECIFIKÁCIE WAFEROV
*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný
Položka | 8-palcový | 6-palcový | 4-palcový | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤ 6 um | ≤ 6 um | |||
Bow (GF3YFCD) - Absolútna hodnota | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm | ≤ 15 μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
Oblátkový okraj | Skosenie |
POVRCHOVÁ ÚPRAVA
*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný
Položka | 8-palcový | 6-palcový | 4-palcový | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Povrchová úprava | Obojstranný optický lesk, Si-Face CMP | ||||
Drsnosť povrchu | (10 um x 10 um) Si-FaceRa ≤ 0,2 nm | (5 um x 5 um) Si-Face Ra ≤ 0,2 nm | |||
Hranové čipy | Nie je povolené (dĺžka a šírka ≥ 0,5 mm) | ||||
Zarážky | Žiadne Povolené | ||||
Škrabance (Si-Face) | Množ.≤5, Kumulatívne | Množ.≤5, Kumulatívne | Množ.≤5, Kumulatívne | ||
Trhliny | Žiadne Povolené | ||||
Vylúčenie okrajov | 3 mm |
![tech_1_2_size](http://www.vet-china.com/uploads/tech_1_2_size.png)
![下载 (2)](http://www.vet-china.com/uploads/下载-2.jpg)
-
Vysokoúčinný vodíkový palivový článok UAV 1000W...
-
Vodíkové palivové články 1000w generátor Hydroge...
-
Nízkoodporové vodivé vysoko čisté prírodné g...
-
Vodíkový dronový článok 220w Genera vodíka...
-
Zásobník vodíkového Pemfc Zásobník vodíkového Pemfc Palivo ...
-
1000w vodíkový palivový článok prispôsobený energetický zásobník...