Epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC).

Krátky popis:

Epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC) od VET Energy je vysokovýkonný substrát navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky na napájanie a RF zariadenia novej generácie. VET Energy zaisťuje, že každý epitaxný plátok je starostlivo vyrobený, aby poskytoval vynikajúcu tepelnú vodivosť, prierazné napätie a mobilitu nosiča, vďaka čomu je ideálny pre aplikácie, ako sú elektrické vozidlá, 5G komunikácia a vysokoúčinná výkonová elektronika.


Detail produktu

Štítky produktu

Epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC) VET Energy je vysokovýkonný polovodičový materiál so širokým pásmovým odstupom s vynikajúcou odolnosťou voči vysokej teplote, vysokou frekvenciou a vysokým výkonom. Je ideálnym substrátom pre novú generáciu výkonových elektronických zariadení. VET Energy využíva pokročilú epitaxnú technológiu MOCVD na pestovanie vysokokvalitných epitaxných vrstiev SiC na substrátoch SiC, čím sa zaisťuje vynikajúci výkon a konzistencia plátku.

Naša epitaxná doska z karbidu kremíka (SiC) ponúka vynikajúcu kompatibilitu s rôznymi polovodičovými materiálmi vrátane Si Wafer, SiC Substrát, SOI Wafer a SiN Substrát. Vďaka svojej robustnej epitaxnej vrstve podporuje pokročilé procesy, ako je rast Epi Wafer a integráciu s materiálmi ako Gallium Oxide Ga2O3 a AlN Wafer, čím zaisťuje všestranné použitie v rôznych technológiách. Navrhnuté tak, aby boli kompatibilné s priemyselnými štandardnými systémami na manipuláciu s kazetami, zaisťujú efektívne a efektívne operácie v prostrediach výroby polovodičov.

Produktový rad VET Energy nie je obmedzený na SiC epitaxné doštičky. Poskytujeme tiež širokú škálu polovodičových substrátových materiálov, vrátane Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer atď. Okrem toho tiež aktívne vyvíjame nové polovodičové materiály so širokým pásmovým odstupom, ako je oxid gália Ga2O3 a AlN Wafer, aby sa splnil dopyt budúceho odvetvia výkonovej elektroniky po zariadeniach s vyšším výkonom.

第6页-36
6页-35

ŠPECIFIKÁCIE WAFEROV

*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný

Položka

8-palcový

6-palcový

4-palcový

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤ 6 um

≤ 6 um

Bow (GF3YFCD) - Absolútna hodnota

≤ 15 μm

≤ 15 μm

≤ 25 μm

≤ 15 μm

Warp (GF3YFER)

≤ 25 μm

≤ 25 μm

≤ 40 μm

≤ 25 μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2 μm

Oblátkový okraj

Skosenie

POVRCHOVÁ ÚPRAVA

*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný

Položka

8-palcový

6-palcový

4-palcový

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Povrchová úprava

Obojstranný optický lesk, Si-Face CMP

Drsnosť povrchu

(10 um x 10 um) Si-FaceRa ≤ 0,2 nm
C-Face Ra ≤ 0,5 nm

(5 um x 5 um) Si-Face Ra ≤ 0,2 nm
C-Face Ra ≤ 0,5 nm

Hranové čipy

Nie je povolené (dĺžka a šírka ≥ 0,5 mm)

Zarážky

Žiadne Povolené

Škrabance (Si-Face)

Množ.≤5, Kumulatívne
Dĺžka ≤ 0,5 × priemer plátku

Množ.≤5, Kumulatívne
Dĺžka ≤ 0,5 × priemer plátku

Množ.≤5, Kumulatívne
Dĺžka ≤ 0,5 × priemer plátku

Trhliny

Žiadne Povolené

Vylúčenie okrajov

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Predchádzajúce:
  • Ďalej:

  • WhatsApp online chat!