SiC povlak/potiahnutý grafitový substrát/zásobník pre polovodiče

SiC povlak/potiahnutý grafitový substrát/zásobník pre polovodičový obrázok

Stručný popis:

VET Energy SiC potiahnutý grafitový susceptor pre epitaxný rast je vysokovýkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhšieho obdobia. Má super dobrú tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu, odolnosť proti erózii, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie plátkov.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

SiC povlak/potiahnutý grafitovým susceptorom pre polovodič

TheGrafitový substrát potiahnutý SiCje vysoko odolné a efektívne riešenie navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne požiadavky priemyslu spracovania polovodičov. S vrstvou vysokej čistotypovlak karbidu kremíka (SiC)., tento substrát poskytuje výnimočnú tepelnú stabilitu, odolnosť voči oxidácii a predĺženú životnosť, vďaka čomu je ideálny pre aplikácie v procesoch MOCVD, grafitových doštičkových nosičoch a iných vysokoteplotných prostrediach.

Vlastnosti:
· Vynikajúca odolnosť proti tepelným šokom
· Vynikajúca odolnosť voči fyzickým nárazom
· Vynikajúca chemická odolnosť
· Super vysoká čistota
· Dostupnosť v komplexnom tvare
·Použiteľné v oxidačnej atmosfére

Aplikácia:

Vlastnosti a výhody produktu:

1. Vynikajúca tepelná odolnosť:S vysokou čistotouSiC povlakSubstrát odoláva extrémnym teplotám a zabezpečuje konzistentný výkon v náročných prostrediach, ako je epitaxia a výroba polovodičov.

2. Zvýšená odolnosť:Grafitové komponenty potiahnuté SiC sú navrhnuté tak, aby odolávali chemickej korózii a oxidácii, čím sa zvyšuje životnosť substrátu v porovnaní so štandardnými grafitovými substrátmi.

3. Sklovitý grafit:Jedinečná štruktúra sklovcaSiC povlakposkytuje vynikajúcu tvrdosť povrchu, čím sa minimalizuje opotrebovanie pri vysokoteplotnom spracovaní.

4. Vysoko čistý SiC povlak:Náš substrát zaisťuje minimálnu kontamináciu v citlivých polovodičových procesoch a ponúka spoľahlivosť pre priemyselné odvetvia, ktoré vyžadujú prísnu čistotu materiálov.

5. Široké uplatnenie na trhu:TheGrafitový susceptor potiahnutý SiCtrh naďalej rastie, pretože sa zvyšuje dopyt po pokročilých výrobkoch s povlakom SiC vo výrobe polovodičov, čím sa tento substrát stáva kľúčovým hráčom na trhu s grafitovými doštičkami a na trhu grafitových podnosov potiahnutých karbidom kremíka.

Typické vlastnosti základného grafitového materiálu:

Zdanlivá hustota:	1,85 g/cm3
Elektrický odpor:	11 μΩm
Pevnosť v ohybe:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Tvrdosť Shore:	58
popol:	<5 str./min
Tepelná vodivosť:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza 多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / Tepelná vodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy je skutočným výrobcom prispôsobených produktov z grafitu a karbidu kremíka s rôznymi povlakmi, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleneného uhlíka, povlak pyrolytického uhlíka atď., Môže dodávať rôzne prispôsobené diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel.

Náš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy na poskytovanie pokročilejších materiálov a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, vďaka ktorej je spojenie medzi náterom a substrátom pevnejšie a menej náchylné na oddelenie.

Srdečne vás vítame na návšteve našej továrne, poďme ďalej diskutovať!