Epitaxná platňa z karbidu kremíka pre polovodičovú epitaxnú pec

Zásobník epitaxnej fólie z karbidu kremíka pre polovodičovú epitaxnú pec Odporúčaný obrázok

Krátky popis:

Epitaxná podnos na karbid kremíka VET Energy je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhšieho obdobia. Má super dobrú tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu, odolnosť proti erózii, vďaka čomu je dokonalým riešením pre aplikácie na spracovanie plátkov.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

Zásobník z karbidu kremíka je kľúčovým komponentom používaným v rôznych procesoch výroby polovodičov. Pomocou našej patentovanej technológie vyrábame plech z karbidu kremíka s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.

VET Energy je skutočným výrobcom prispôsobených produktov z grafitu a karbidu kremíka s rôznymi povlakmi, ako je SiC, Tac, pyrolytický uhlík, sklenený uhlík atď., Môže dodávať rôzne prispôsobené diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. Náš technický tím pochádza zo špičkových domácich výskumných inštitúcií, môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy na poskytovanie pokročilejších materiálov a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, vďaka ktorej je spojenie medzi náterom a substrátom pevnejšie a menej náchylné na oddelenie.

Vlastnosti našich produktov:

1. Vysoká teplotná odolnosť proti oxidácii až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšia

CVD SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bod
杨氏模量 / Youngov modul	Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná expanzia (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1