SiC povlak grafitové MOCVD Wafer nosiče,Grafitové susceptorypre SiC epitaxiu,
Uhlík dodáva susceptory, epitaxné susceptory, Grafitové susceptory,
Povlak CVD-SiC má charakteristiky jednotnej štruktúry, kompaktného materiálu, odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti voči oxidácii, vysokej čistoty, odolnosti voči kyselinám a zásadám a organického činidla, so stabilnými fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami.
V porovnaní s grafitovými materiálmi s vysokou čistotou začína grafit oxidovať pri 400 °C, čo spôsobí stratu prášku v dôsledku oxidácie, čo má za následok znečistenie životného prostredia periférnych zariadení a vákuových komôr a zvýšenie nečistôt v prostredí s vysokou čistotou.
Povlak SiC však môže udržiavať fyzikálnu a chemickú stabilitu pri 1600 stupňoch, je široko používaný v modernom priemysle, najmä v polovodičovom priemysle.
Naša spoločnosť poskytuje služby procesu poťahovania SiC metódou CVD na povrchu grafitu, keramiky a iných materiálov tak, že špeciálne plyny obsahujúce uhlík a kremík reagujú pri vysokej teplote za vzniku vysoko čistých molekúl SiC, molekúl usadených na povrchu poťahovaných materiálov, vytvára ochrannú vrstvu SIC.Vytvorený SIC je pevne spojený s grafitovou základňou, čo dáva grafitovej základni špeciálne vlastnosti, vďaka čomu je povrch grafitu kompaktný, bez pórovitosti, odolný voči vysokej teplote, korózii a oxidácii.
Aplikácia:
Hlavné rysy:
1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote:
odolnosť proti oxidácii je stále veľmi dobrá, keď je teplota až 1700 C.
2. Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár pri vysokej teplote chlorácie.
3. Odolnosť proti erózii: vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
4. Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
Hlavné špecifikácie povlakov CVD-SIC:
SiC-CVD | ||
Hustota | (g/cc)
| 3.21 |
Ohybová pevnosť | (Mpa)
| 470 |
Tepelná rozťažnosť | (10-6/K) | 4
|
Tepelná vodivosť | (W/mK) | 300 |
Schopnosť zásobovania:
10 000 kusov/kusov za mesiac
Balenie a dodanie:
Balenie: Štandardné a silné balenie
Poly bag + krabica + kartón + paleta
Port:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodacia lehota:
Množstvo (kusy) | 1 – 1000 | >1000 |
Odhad.čas (dni) | 15 | Na vyjednávanie |