Ohrievač substrátu MOCVD, Vykurovacie telesá pre MOCVD,
grafitový ohrievač, ohrievač, Ohrievač substrátu MOCVD,
Grafitový ohrievač s dlhou životnosťou SIC pre MOCVD K465i
Thegrafitový ohrievačkomponenty sa používajú vo vysokoteplotnej peci s teplotou dosiahnutou 2200 stupňov vo vákuovom prostredí a 3000 stupňov v prostredí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavné vlastnostigrafitový ohrievač:
1. jednotnosť vykurovacej štruktúry.
2. dobrá elektrická vodivosť a vysoké elektrické zaťaženie.
3. odolnosť proti korózii.
4. neoxidovateľnosť.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnosť.
Výhodou je energetická efektívnosť, vysoká hodnota a nenáročnosť na údržbu.
Môžeme vyrobiť antioxidačný grafitový téglik s dlhou životnosťou, grafitovú formu a všetky časti grafituohrievač.
Hlavné parametre grafituohrievač:
Technická špecifikácia | VET-M3 |
Objemová hustota (g/cm3) | ≥1,85 |
Obsah popola (PPM) | ≤ 500 |
Tvrdosť Shore | ≥45 |
Špecifický odpor (μ.Ω.m) | ≤12 |
Pevnosť v ohybe (Mpa) | ≥40 |
Pevnosť v tlaku (Mpa) | ≥70 |
Max. Veľkosť zrna (μm) | ≤43 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitový ohrievač do elektrickej pece má vlastnosti tepelnej odolnosti, odolnosti voči oxidácii, dobrej elektrickej vodivosti a lepšej mechanickej náročnosti. Môžeme opracovať rôzne typy grafitových ohrievačov podľa návrhov zákazníkov.