Monokryštalický 8-palcový kremíkový plátok od VET Energy je špičkovým riešením pre výrobu polovodičov a elektronických zariadení. Tieto doštičky ponúkajú vynikajúcu čistotu a kryštalickú štruktúru a sú ideálne pre vysokovýkonné aplikácie vo fotovoltaickom aj polovodičovom priemysle. VET Energy zaisťuje, že každý plátok je starostlivo spracovaný tak, aby spĺňal najvyššie štandardy, poskytuje vynikajúcu jednotnosť a hladkú povrchovú úpravu, ktoré sú nevyhnutné pre pokročilú výrobu elektronických zariadení.
Tieto monokryštalické 8-palcové kremíkové doštičky sú kompatibilné s celým radom materiálov, vrátane Si Wafer, SiC Substrát, SOI Wafer, SiN Substrát, a sú obzvlášť vhodné pre rast Epi Wafer. Ich vynikajúca tepelná vodivosť a elektrické vlastnosti z nich robia spoľahlivú voľbu pre vysoko efektívnu výrobu. Okrem toho sú tieto doštičky navrhnuté tak, aby bezproblémovo spolupracovali s materiálmi, ako je oxid gália Ga2O3 a AlN Wafer, a ponúkajú širokú škálu aplikácií od výkonovej elektroniky po RF zariadenia. Oblátky tiež dokonale zapadajú do kazetových systémov pre veľkoobjemové, automatizované výrobné prostredia.
Produktový rad VET Energy nie je obmedzený na kremíkové doštičky. Poskytujeme tiež širokú škálu polovodičových substrátových materiálov, vrátane SiC substrátu, SOI doštičky, SiN substrátu, Epi doštičky atď., ako aj nových polovodičových materiálov so širokým pásmom, ako je oxid gália Ga2O3 a doštička AlN. Tieto produkty môžu spĺňať aplikačné potreby rôznych zákazníkov v oblasti výkonovej elektroniky, rádiovej frekvencie, senzorov a iných oblastí.
VET Energy poskytuje zákazníkom prispôsobené riešenia doštičiek. Môžeme prispôsobiť doštičky s rôznym odporom, obsahom kyslíka, hrúbkou atď. podľa špecifických potrieb zákazníkov. Okrem toho poskytujeme aj profesionálnu technickú podporu a popredajný servis, aby sme zákazníkom pomohli vyriešiť rôzne problémy, ktoré sa vyskytli počas výrobného procesu.
ŠPECIFIKÁCIE WAFEROV
*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný
Položka | 8-palcový | 6-palcový | 4-palcový | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤ 6 um | ≤ 6 um | |||
Bow (GF3YFCD) - Absolútna hodnota | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm | ≤ 25 μm | ≤ 15 μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤ 25 μm | ≤ 25 μm | ≤ 40 μm | ≤ 25 μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
Oblátkový okraj | Skosenie |
POVRCHOVÁ ÚPRAVA
*n-Pm=n-typ Pm-stupeň,n-Ps=n-typ Ps-stupeň,Sl=poloizolačný
Položka | 8-palcový | 6-palcový | 4-palcový | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Povrchová úprava | Obojstranný optický lesk, Si-Face CMP | ||||
Drsnosť povrchu | (10 um x 10 um) Si-FaceRa ≤ 0,2 nm | (5 um x 5 um) Si-Face Ra ≤ 0,2 nm | |||
Hranové čipy | Nie je povolené (dĺžka a šírka ≥ 0,5 mm) | ||||
Zarážky | Žiadne Povolené | ||||
Škrabance (Si-Face) | Množ.≤5, Kumulatívne | Množ.≤5, Kumulatívne | Množ.≤5, Kumulatívne | ||
Trhliny | Žiadne Povolené | ||||
Vylúčenie okrajov | 3 mm |