RTP/RTA සඳහා SiC ආලේපන වාහකය

කෙටි විස්තරය:

RTP/RTA සඳහා VET Energy SiC Coating Carrier යනු දීර්ඝ කාලයක් පුරා ස්ථාවර සහ විශ්වාසනීය කාර්ය සාධනයක් සැපයීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති ඉහළ කාර්ය සාධන නිෂ්පාදනයකි. එය සුපිරි හොඳ තාප ප්‍රතිරෝධයක් සහ තාප ඒකාකාරිත්වය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඛාදනය ප්‍රතිරෝධය ඇත, එය වේෆර් සැකසුම් යෙදුම් සඳහා පරිපූර්ණ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.

 


  • ආරම්භක ස්ථානය:චීනය
  • ස්ඵටික ව්යුහය:FCCβphase
  • ඝනත්වය:3.21 g / cm;
  • දෘඪතාව:2500 විකර්ස්;
  • ධාන්ය ප්රමාණය:2 ~ 10μm;
  • රසායනික සංශුද්ධතාවය:99.99995%;
  • තාප ධාරිතාව:640J·kg-1·K-1;
  • සබ්ලිමේෂන් උෂ්ණත්වය:2700℃;
  • Felexural ශක්තිය:415 Mpa (RT 4-Point);
  • තරුණ මාපාංකය:430 Gpa (4pt වංගුව, 1300℃);
  • තාප ප්‍රසාරණය (CTE):4.5 10-6K-1;
  • තාප සන්නායකතාව:300 (W/MK);
  • නිෂ්පාදන විස්තර

    නිෂ්පාදන ටැග්

    ආර්ටීපී/ආර්ටීඒ සඳහා SiC Coating Carrier යනු Rapid Thermal Processing & Annealing නමින් හැඳින්වෙන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන ප්‍රධාන අංගයකි, අපි අපගේ පේටන්ට් තාක්ෂණය භාවිතා කර සිලිකන් කාබයිඩ් වාහකය අතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින්, හොඳ ආලේපන ඒකාකාරිත්වයකින් සහ විශිෂ්ට සේවා කාලයකින් යුක්ත වේ. මෙන්ම ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායී ගුණාංග.

    අපගේ නිෂ්පාදනවල විශේෂාංග:

    1. 1700℃ දක්වා ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය.
    2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ තාප ඒකාකාරිත්වය
    3. විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක.

    4. ඉහළ දෘඪතාව, සංයුක්ත මතුපිට, සියුම් අංශු.
    5. දිගු සේවා කාලය සහ වඩා කල් පවතින

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    CVD SiC හි මූලික භෞතික ගුණාංගආලේපනය

    性质 / දේපල

    典型数值 / සාමාන්ය අගය

    晶体结构 / ස්ඵටික ව්යුහය

    FCC β අදියර多晶,主要为(111)取向

    密度 / ඝනත්වය

    3.21 g/cm³

    硬度 / දෘඪතාව

    2500 维氏硬度 (ග්රෑම් 500 බර)

    晶粒大小 / ධාන්ය ප්රමාණය

    2~10μm

    纯度 / රසායනික සංශුද්ධතාවය

    99.99995%

    热容 / තාප ධාරිතාව

    640 J·kg-1·කේ-1

    升华温度 / Sublimation උෂ්ණත්වය

    2700℃

    抗弯强度 / Flexural ශක්තිය

    415 MPa RT 4-ලක්ෂ්‍යය

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt වංගුව, 1300℃

    导热系数 / තාපඑල්සන්නායකතාව

    300W·m-1·කේ-1

    热膨胀系数 / තාප ප්‍රසාරණය (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy යනු SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිෙරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි විවිධ ආලේපන සහිත අභිරුචිකරණය කරන ලද මිනිරන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ් නිෂ්පාදනවල සැබෑ නිෂ්පාදකයා වන අතර, අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය සඳහා විවිධ අභිරුචි කළ කොටස් සැපයිය හැකිය.

    අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළ දේශීය පර්යේෂණ ආයතන වලින් පැමිණේ, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්‍රව්‍යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.

    අපි වඩාත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සැපයීම සඳහා උසස් ක්‍රියාවලි අඛණ්ඩව සංවර්ධනය කරන අතර, ආලේපනය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධනය වඩාත් තද කළ හැකි සහ වෙන්වීමට ඇති ඉඩකඩ අඩු කළ හැකි සුවිශේෂී පේටන්ට් බලපත්‍ර තාක්ෂණයක් සකස් කර ඇත.

    අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව නැරඹීමට ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු, අපි තවදුරටත් සාකච්ඡා කරමු!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • පෙර:
  • ඊළඟ:

  • WhatsApp මාර්ගගත කතාබස්!