CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයේ සකස් කිරීමේ ක්‍රම සහ කාර්ය සාධන ලක්ෂණ මොනවාද?

CVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) යනු සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන සකස් කිරීම සඳහා බහුලව භාවිතා වන ක්රමයකි.CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනබොහෝ සුවිශේෂී කාර්ය සාධන ලක්ෂණ ඇත. මෙම ලිපියෙන් CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය සකස් කිරීමේ ක්‍රමය සහ එහි කාර්ය සාධන ලක්ෂණ හඳුන්වා දෙනු ඇත.

1. සකස් කිරීමේ ක්රමයCVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය

CVD ක්‍රමය මඟින් වායුමය පූර්වගාමීන් ඉහළ උෂ්ණත්ව තත්ත්ව යටතේ ඝන සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන බවට පරිවර්තනය කරයි. විවිධ වායුමය පූර්වගාමීන් අනුව, එය වායු අදියර CVD සහ ද්රව අදියර CVD ලෙස බෙදිය හැකිය.

1. වාෂ්ප අදියර CVD

වාෂ්ප අදියර CVD සිලිකන් කාබයිඩ් පටලවල වර්ධනය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වායුමය පූර්වගාමීන්, සාමාන්‍යයෙන් කාබනික සිලිකන් සංයෝග භාවිතා කරයි. බහුලව භාවිතා වන කාබනික සිලිකන් සංයෝගවලට මෙතිල්සිලේන්, ඩයිමෙතිල්සිලේන්, මොනොසිලේන් යනාදිය ඇතුළත් වන අතර ඒවා ඉහළ-උෂ්ණත්ව ප්‍රතික්‍රියා කුටිවලට වායුමය පූර්වගාමීන් ප්‍රවාහනය කිරීමෙන් ලෝහ උපස්ථර මත සිලිකන් කාබයිඩ් පටල සාදයි. ප්‍රතික්‍රියා කුටියේ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රදේශ සාමාන්‍යයෙන් උත්පාදනය වන්නේ ප්‍රේරක උණුසුම හෝ ප්‍රතිරෝධක උණුසුම මගිනි.

2. දියර අදියර CVD

ද්‍රව-අදියර CVD ද්‍රව පූර්වගාමියෙකු භාවිතා කරයි, සාමාන්‍යයෙන් සිලිකන් සහ සිලැනෝල් සංයෝගයක් අඩංගු කාබනික ද්‍රාවකයක්, ප්‍රතික්‍රියා කුටියක රත් කර වාෂ්ප කර, පසුව රසායනික ප්‍රතික්‍රියාවක් හරහා උපස්ථරය මත සිලිකන් කාබයිඩ් පටලයක් සෑදේ.

2. කාර්ය සාධන ලක්ෂණCVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය

1. විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව කාර්ය සාධනය

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනවිශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායීතාවයක් සහ ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. එය අධික උෂ්ණත්ව පරිසරවල වැඩ කිරීමට හැකියාව ඇති අතර අධික උෂ්ණත්වවලදී ආන්තික තත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

2.හොඳ යාන්ත්රික ගුණ

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයඉහළ දෘඪතාව සහ හොඳ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය ඇත. එය ලෝහ උපස්ථර ඇඳීමෙන් හා විඛාදනයෙන් ආරක්ෂා කරයි, ද්රව්යයේ සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි.

3. විශිෂ්ට රසායනික ස්ථායිතාව

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනඅම්ල, ක්ෂාර සහ ලවණ වැනි පොදු රසායනික ද්රව්ය වලට බෙහෙවින් ප්රතිරෝධී වේ. එය රසායනික ප්රහාරයට සහ උපස්ථරයේ විඛාදනයට ප්රතිරෝධී වේ.

4. අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකය

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනයඅඩු ඝර්ෂණ සංගුණකයක් සහ හොඳ ස්වයං-ලිහිසි කිරීමේ ගුණ ඇත. එය ඝර්ෂණය සහ ඇඳීම අඩු කරන අතර ද්රව්යමය භාවිතයේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරයි.

5.හොඳ තාප සන්නායකතාව

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය හොඳ තාප සන්නායකතා ගුණ ඇත. එය ඉක්මනින් තාපය සන්නයනය කළ හැකි අතර ලෝහ පදනමේ තාපය විසුරුවා හැරීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකිය.

6.Excellent විදුලි පරිවාරක ගුණ

CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය හොඳ විදුලි පරිවාරක ගුණ ඇති අතර ධාරාව කාන්දු වීම වළක්වා ගත හැකිය. එය ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල පරිවාරක ආරක්ෂාව සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.

7. සකස් කළ හැකි ඝණකම සහ සංයුතිය

CVD ක්රියාවලියේදී කොන්දේසි පාලනය කිරීම සහ පූර්වගාමී සාන්ද්රණය පාලනය කිරීම මගින් සිලිකන් කාබයිඩ් චිත්රපටයේ ඝණකම සහ සංයුතිය සකස් කළ හැකිය. මෙය විවිධ යෙදුම් සඳහා බොහෝ විකල්ප සහ නම්‍යශීලීභාවය සපයයි.

කෙටියෙන් කිවහොත්, CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව කාර්ය සාධනයක්, විශිෂ්ට යාන්ත්රික ගුණ, හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක්, අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකය, හොඳ තාප සන්නායකතාව සහ විද්යුත් පරිවාරක ගුණ ඇත. මෙම ගුණාංග CVD සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන ඉලෙක්ට්‍රොනික, දෘෂ්ටි විද්‍යාව, අභ්‍යවකාශය, රසායනික කර්මාන්තය යනාදිය ඇතුළු බොහෝ ක්ෂේත්‍රවල බහුලව භාවිතා කරයි.