SiC ڪوٽنگ Graphite MOCVD Wafer ڪيريئر Susceptors

سي سي ڪوٽنگ گرافائٽ MOCVD ويفر ڪيريئر سوسيپٽرس فيچر ٿيل تصوير

مختصر وضاحت:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth هڪ اعليٰ ڪارڪردگي پراڊڪٽ آهي جيڪو وڌايل عرصي دوران مسلسل ۽ قابل اعتماد ڪارڪردگي مهيا ڪرڻ لاءِ ٺهيل آهي. ان ۾ سپر سٺي گرمي جي مزاحمت ۽ حرارتي يونيفارميت، اعليٰ پاڪائي، خارش جي مزاحمت، ان کي ويفر پروسيسنگ ايپليڪيشنن لاءِ ڀرپور حل بڻائيندي.

اسان کي اي ميل موڪليو PDF طور ڊائونلوڊ ڪريو

پيداوار جي تفصيل

پراڊڪٽ ٽيگ

SiC ڪوٽنگ graphite MOCVD Wafer ڪيريئر / susceptor

اسان جا سڀئي susceptors اعلي طاقت جي isostatic graphite مان ٺهيل آهن. اسان جي گرافائٽس جي اعلي پاڪائي مان فائدو حاصل ڪريو - خاص طور تي مشڪل عملن لاءِ ترقي ڪئي وئي جهڙوڪ ايپيٽيڪسي، ڪرسٽل وڌندڙ، آئن امپلانٽيشن ۽ پلازما ايچنگ، انهي سان گڏ ايل اي ڊي چپس جي پيداوار لاءِ.

اسان جي شين جون خاصيتون:

1. هاء گرمي پد oxidation مزاحمت 1700 ℃ تائين.
2. اعلي پاڪائي ۽ حرارتي يونيفارم
3. بهترين corrosion مزاحمت: امل، alkali، لوڻ ۽ نامياتي reagents.
4. هاء سختي، ٺهيل مٿاڇري، ٺيڪ ذرات.
5. ڊگھي خدمت زندگي ۽ وڌيڪ پائيدار

سي وي ڊي SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC جي بنيادي جسماني ملڪيتڪوٽنگ
性质 / ملڪيت	典型数值 / عام قدر
晶体结构 / ڪرسٽل جي جوڙجڪ	FCC β مرحلو多晶، 主要为 (111).
密度 / کثافت	3.21 g/cm³
硬度 / سختي	2500 维氏硬度 (500g لوڊ)
晶粒大小 / اناج جي سائيز	2 ~ 10 ملي ميٽر
ههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههههه / ڪيميائي صفائي	99.99995%
热容 / گرمي جي گنجائش	640 J·kg^-1· ڪي^-1
升华温度 / آبهوا جي درجه حرارت	2700 ℃
抗弯强度 / لچڪدار طاقت	415 MPa RT 4 پوائنٽ
杨氏模量 / نوجوان جي ماڊلس	430 Gpa 4pt موڙ، 1300 ℃
导热系数 / Thermaلچالاڪت	300W·m^-1· ڪي^-1
热膨胀系数 / حرارتي توسيع (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET انرجي ڪسٽمائيز گرافائٽ ۽ سلڪون ڪاربائيڊ پروڊڪٽس جو اصل ٺاهيندڙ آهي مختلف ڪوٽنگن جهڙوڪ سي سي ڪوٽنگ، ٽي سي ڪوٽنگ، شيشي ڪاربان ڪوٽنگ، پائروليٽڪ ڪاربان ڪوٽنگ، وغيره، سيمي ڪنڊڪٽر ۽ فوٽووولٽڪ انڊسٽري لاءِ مختلف ڪسٽمائيز حصا فراهم ڪري سگهن ٿيون.

اسان جي ٽيڪنيڪل ٽيم مٿين گهريلو تحقيقي ادارن مان اچي ٿي، توهان لاء وڌيڪ پيشه ور مواد حل فراهم ڪري سگهي ٿي.

اسان مسلسل ترقي يافته پروسيس کي وڌيڪ ترقي يافته مواد مهيا ڪرڻ لاء ترقي ڪري رهيا آهيون، ۽ هڪ خاص پيٽرن واري ٽيڪنالاجي تي ڪم ڪيو آهي، جيڪو ڪوٽنگ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ تعلق کي مضبوط ڪري سگهي ٿو ۽ لاتعلقي جو گهٽ خطرو آهي.

اسان جي ڪارخاني جو دورو ڪرڻ لاء توهان کي گرمجوشي سان ڀليڪار، اچو ته وڌيڪ بحث ڪيو!