Эпитаксиальная пластина карбида кремния (SiC)

Краткое описание:

Эпитаксиальная пластина из карбида кремния (SiC) от VET Energy — это высокопроизводительная подложка, разработанная для удовлетворения строгих требований силовых и радиочастотных устройств нового поколения. VET Energy гарантирует, что каждая эпитаксиальная пластина тщательно изготовлена, чтобы обеспечить превосходную теплопроводность, напряжение пробоя и мобильность носителей, что делает ее идеальной для таких приложений, как электромобили, связь 5G и высокоэффективная силовая электроника.


Детали продукта

Теги продукта

Эпитаксиальная пластина карбида кремния (SiC) VET Energy представляет собой высокопроизводительный полупроводниковый материал с широкой запрещенной зоной, обладающий превосходной термостойкостью, высокочастотными и мощными характеристиками. Это идеальная подложка для силовой электроники нового поколения. VET Energy использует передовую эпитаксиальную технологию MOCVD для выращивания высококачественных эпитаксиальных слоев SiC на подложках SiC, обеспечивая превосходные характеристики и стабильность пластины.

Наша эпитаксиальная пластина из карбида кремния (SiC) обеспечивает превосходную совместимость с различными полупроводниковыми материалами, включая кремниевую пластину, подложку SiC, пластину SOI и подложку SiN. Благодаря прочному эпитаксиальному слою он поддерживает такие сложные процессы, как выращивание эпитаксиальных пластин и интеграцию с такими материалами, как оксид галлия Ga2O3 и пластина AlN, обеспечивая универсальное использование различных технологий. Разработанный для совместимости со стандартными системами обработки кассет, он обеспечивает эффективную и оптимизированную работу в условиях производства полупроводников.

Линейка продуктов VET Energy не ограничивается эпитаксиальными пластинами SiC. Мы также предлагаем широкий ассортимент полупроводниковых подложек, включая Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer и т. д. Кроме того, мы также активно разрабатываем новые полупроводниковые материалы с широкой запрещенной зоной, такие как оксид галлия Ga2O3 и AlN. Wafer, чтобы удовлетворить будущий спрос индустрии силовой электроники на более высокопроизводительные устройства.

第6页-36
第6页-35

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий

Элемент

8-дюймовый

6-дюймовый

4-дюймовый

НП

n-PM

н-Пс

SI

SI

ТТВ(ГБИР)

≤6 мкм

≤6 мкм

Лук(GF3YFCD)-Абсолютная ценность

≤15 мкм

≤15 мкм

≤25 мкм

≤15 мкм

Деформация(GF3YFER)

≤25 мкм

≤25 мкм

≤40 мкм

≤25 мкм

ЛТВ(СБИР)-10ммх10мм

<2 мкм

Край вафли

Снятие фаски

ОТДЕЛКА ПОВЕРХНОСТИ

*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=полуизолирующий

Элемент

8-дюймовый

6-дюймовый

4-дюймовый

НП

n-PM

н-Пс

SI

SI

Поверхностная обработка

Двусторонняя оптическая полировка, Si-Face CMP

Шероховатость поверхности

(10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм
C-лицо Ra≤ 0,5 нм

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2 нм
C-лицо Ra≤0,5 нм

Краевые чипы

Нет Разрешено (длина и ширина≥0,5 мм)

Отступы

Ничего не разрешено

Царапины (Si-Face)

Кол-во.≤5, накопительный
Длина≤0,5×диаметр пластины

Кол-во.≤5, накопительный
Длина≤0,5×диаметр пластины

Кол-во.≤5, накопительный
Длина≤0,5×диаметр пластины

Трещины

Ничего не разрешено

Исключение краев

3 мм

tech_1_2_size
Китай (2)

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!