Вафельный диск из карбида кремния является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. мы используем нашу запатентованную технологию, чтобы сделать диск из карбида кремния более безопасным, обладающим чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и отличным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термостабильностью.
VET Energy является настоящим производителем изделий из графита и карбида кремния по индивидуальному заказу с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, пиролитический углерод, стеклоуглерод и т. д., и может поставлять различные детали по индивидуальному заказу для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для создания более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая может сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее склонной к отслоению.
FОсобенности нашей продукции:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению до 1700.℃.
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и долговечность.
ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
晶体结构 / Кристаллическая структура | FCC β-фаза多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
硬度 / Твердость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
晶粒大小 / Размер зерна | 2~10 мкм |
纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
升华温度 / Температура сублимации | 2700℃ |
抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа РТ 4-точечный |
杨氏模量 / Модуль Юнга | Изгиб 430 ГПа, 4 точки, 1300 ℃ |
导热系数 / ТермалПроводимость | 300 Вт·м-1·К-1 |
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!