ПродуктDописание
Лодочки для вафель из карбида кремния широко используются в качестве держателя пластин в процессе высокотемпературной диффузии.
Преимущества:
Устойчивость к высоким температурам:нормальное использование при 1800 ℃
Высокая теплопроводность:эквивалент графитового материала
Высокая твердость:твердость уступает только алмазу и нитриду бора
Коррозионная стойкость:сильная кислота и щелочь не подвержены коррозии, коррозионная стойкость лучше, чем у карбида вольфрама и оксида алюминия.
Легкий вес:низкая плотность, близка к алюминию
Нет деформации: низкий коэффициент теплового расширения
Устойчивость к термическому удару:он может выдерживать резкие изменения температуры, противостоять тепловому удару и имеет стабильную производительность.
Физические свойства SiC
Свойство | Ценить | Метод |
Плотность | 3,21 г/см3 | Раковина-поплавок и размер |
Удельная теплоемкость | 0,66 Дж/г °К | Импульсная лазерная вспышка |
Прочность на изгиб | 450 МПа560 МПа | 4-точечный изгиб, RT4-точечный изгиб, 1300° |
Вязкость разрушения | 2,94 МПа м1/2 | Микроиндентирование |
Твердость | 2800 | Викерс, загрузка 500г. |
Модуль упругости Модуль Юнга | 450 ГПа430 ГПа | 4-точечный изгиб, RT4-точечный изгиб, 1300 °C |
Размер зерна | 2 – 10 мкм | СЭМ |
Термические свойства SiC
Теплопроводность | 250 Вт/м °К | Метод лазерной вспышки, RT |
Тепловое расширение (КТР) | 4,5 х 10-6 °К | Комнатная температура до 950 °C, кварцевый дилатометр |