Графитовое покрытие SiC, держатели пластин MOCVD, графитовые токоприемники для эпитаксии SiC,
-SiCГрафитовая вафля, Датчики подачи углерода, рецепторы эпитаксии, Графит поставляет токоприемники, Графитовые пластинчатые токоприемники, https://www.vet-china.com/sic-coating-graphite-mocvd-wafer-carriers-2.html#:~:text=SicGraphiteSusceptors-, SicГрафитПодносы,
Покрытие CVD-SiC имеет характеристики однородной структуры, компактного материала, устойчивости к высоким температурам, стойкости к окислению, высокой чистоты, устойчивости к кислотам и щелочам и органических реагентов, а также стабильных физических и химических свойств.
По сравнению с графитовыми материалами высокой чистоты, графит начинает окисляться при 400°C, что приводит к потере порошка из-за окисления, что приводит к загрязнению окружающей среды периферийных устройств и вакуумных камер, а также к увеличению примесей среды высокой чистоты.
Однако покрытие SiC может сохранять физическую и химическую стабильность при температуре 1600 градусов. Оно широко используется в современной промышленности, особенно в полупроводниковой промышленности.
Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекул, осаждаемых на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC. Образованный SIC прочно связан с графитовой основой, придавая графитовой основе особые свойства, что делает поверхность графита компактной, непористой, устойчивой к высоким температурам, коррозионной стойкости и стойкости к окислению.
Основные особенности:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1700 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
Основные характеристики покрытий CVD-SIC:
SiC-CVD | ||
Плотность | (г/см3)
| 3.21 |
Прочность на изгиб | (МПа)
| 470 |
Тепловое расширение | (10-6/К) | 4
|
Теплопроводность | (Вт/мК) | 300 |
Возможность поставки:
10000 шт./шт. в месяц
Упаковка и доставка:
Упаковка: стандартная и прочная упаковка
Полиэтиленовый пакет + коробка + коробка + поддон
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Время выполнения:
Количество (штук) | 1 – 1000 | >1000 |
Стандартное восточное время. Время (дни) | 15 | Для переговоров |