Графитовое покрытие SiC, держатели пластин MOCVD, графитовые токоприемники для эпитаксии SiC

Графитовое покрытие SiC. Носители пластин MOCVD, графитовые токоприемники для эпитаксии SiC. Избранное изображение

Краткое описание:

Покрытие SiC графитовой подложки для полупроводников позволяет получить деталь превосходной чистоты и устойчивости к окислительной атмосфере. CVD SiC или CVI SiC наносятся на графит деталей простой или сложной конструкции. Покрытие можно наносить различной толщины и на очень большие детали.

Место происхождения:Чжэцзян, Китай (материк)

Номер модели:Номер модели:

Химический состав:Графит с покрытием SiC

Прочность на изгиб:470 МПа

Теплопроводность:300 Вт/мК

Качество:Идеальный

Функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводниковая/фотоэлектрическая промышленность

Плотность:3,21 г/см3

Тепловое расширение:4 10-6/К

Пепел: <5 частей на миллион

Образец:Доступный

Код ТН ВЭД:6903100000

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

Графитовое покрытие SiC. Носители пластин MOCVD, графитовые токоприемники дляКарбид кремниевая эпитаксия,
Датчики подачи углерода, Графитовые эпитаксиальные сенсицепторы, Графитовые подложки, MOCVD токоприемник, Карбид кремниевая эпитаксия, Вафельные токоприемники,

К особым преимуществам наших графитовых токоприемников с покрытием SiC относятся чрезвычайно высокая чистота, однородное покрытие и превосходный срок службы. Они также обладают высокой химической стойкостью и термостабильностью.

Покрытие SiC графитовой подложки для полупроводников позволяет получить деталь превосходной чистоты и устойчивости к окислительной атмосфере.
CVD SiC или CVI SiC наносятся на графит деталей простой или сложной конструкции. Покрытие можно наносить различной толщины и на очень большие детали.

Покрытие SiC/суцептор MOCVD с покрытием

Функции:
· Отличная устойчивость к тепловому удару
· Отличная устойчивость к физическим ударам
· Отличная химическая стойкость
· Супервысокая чистота
· Наличие сложной формы
· Можно использовать в окислительной атмосфере

Приложение:

Типичные свойства базового графитового материала:

Кажущаяся плотность:	1,85 г/см3
Электрическое сопротивление:	11 мкОм·м
Изгибная прочность:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твердость по Шору:	58
Пепел:	<5 частей на миллион
Теплопроводность:	116 Вт/мК (100 ккал/мч-℃)

Датчики подачи углеродаи графитовые компоненты для всех современных реакторов эпитаксии. Наше портфолио включает цилиндрические токоприемники для агрегатов прикладного и LPE, блинчатые токоприемники для агрегатов LPE, CSD и Gemini, а также однопластинные токоприемники для агрегатов прикладного и ASM. Объединив прочные партнерские отношения с ведущими OEM-производителями, знания материалов и производственные ноу-хау, компания SGL предлагает оптимальный дизайн для вашего применения.