Графитовые сегментные кольца с покрытием из карбида тантала

Краткое описание:

Популярность 8-дюймовых пластин карбида кремния (SiC) ужесточила температурные требования полупроводниковых процессов.Однако традиционные базовые материалы не выдерживают испытаний в условиях высокой температуры и склонны к сублимации и повреждению эпитаксиального процесса.К счастью, продукты Semicera из карбида тантала CvD (TaC) предоставляют вам надежное решение.Наш карбид тантала (TaC) обладает превосходной термостойкостью, выдерживает экстремальные температуры до 2300 градусов Цельсия и обеспечивает более длительный срок службы.Свяжитесь с Semicera сегодня, чтобы узнать больше о наших передовых решениях, включая индивидуальные варианты накладок с покрытием из карбида тантала.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Информация о продукте

Теги продукта

Покрытие TaC представляет собой разновидность покрытия из карбида тантала (TaC), полученного методом физического осаждения из паровой фазы, и имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высокая, обычно может достигать 2500-3000HV, является отличным твердым покрытием.

2. Износостойкость: покрытие TaC очень износостойкое, что позволяет эффективно снизить износ и повреждение механических деталей во время использования.

3. Хорошая устойчивость к высоким температурам: покрытие TaC также может сохранять свои отличные характеристики в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как кислоты и основания.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физические свойства ТаС покрытие
密度/ Плотность	14,3 (г/см³)
比辐射率 / Удельная излучательная способность	0,3
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Твердость (ГК)	2000 Гонконг
电阻 / Сопротивление	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термическая стабильность	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Изменение размера графита	-10~-20ум
涂层厚度 / Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности и так далее.Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда из ведущих отечественных исследовательских институтов может предоставить вам более профессиональные решения в области материалов.

Сердечно приветствуем вас посетить нашу фабрику, давайте обсудим!