ПТО ЭнергияГрафитовая лодочка PECVD для солнечных элементов — это основной расходный материал, предназначенный для процесса PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазмой) солнечных элементов. Графитовая лодочка изготовлена из изостатического графита высокой чистоты с пористостью менее 15% и шероховатостью поверхности Ra<1,6 мкм. Он обладает превосходными свойствами, такими как устойчивость к высоким температурам, коррозионная стойкость и стабильность размеров. Превосходная стабильность размеров и теплопроводность обеспечивают равномерное нанесение пленки и повышают эффективность аккумулятора. Он может обеспечить стабильный носитель в среде PECVD с высокой температурой и высоким давлением, обеспечивая равномерное осаждение и высокое качество пленок солнечных элементов.
Графитовый материал от SGL:
Типичный параметр: R6510 | |||
Индекс | Стандарт испытаний | Ценить | Единица |
Средний размер зерна | ИСО 13320 | 10 | мкм |
Объемная плотность | DIN МЭК 60413/204 | 1,83 | г/см3 |
Открытая пористость | DIN66133 | 10 | % |
Средний размер пор | DIN66133 | 1,8 | мкм |
Проницаемость | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
Твердость по Роквеллу HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Удельное электрическое сопротивление | DIN МЭК 60413/402 | 13 | мкОмм |
Прочность на изгиб | DIN МЭК 60413/501 | 60 | МПа |
Прочность на сжатие | DIN 51910 | 130 | МПа |
Модуль Юнга | DIN 51915 | 11,5×10³ | МПа |
Тепловое расширение (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2х10-6 | K-1 |
Теплопроводность (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Он специально разработан для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку пластин большого размера G12. Оптимизированная конструкция держателя значительно увеличивает пропускную способность, обеспечивая более высокую производительность и снижение производственных затрат.
Элемент | Тип | Номер вафельного носителя |
Лодка PEVCD Grephite - серия 156 | Грефитовая лодка 156-13 | 144 |
156-19 грефитовая лодка | 216 | |
156-21 грефитовая лодка | 240 | |
Графитовая лодка 156-23 | 308 | |
Лодка PEVCD Grephite - серия 125 | 125-15 грефитовая лодка | 196 |
125-19 грефитовая лодка | 252 | |
125-21 графитовая лодка | 280 |