Графитовый носитель для процесса PECVD

Краткое описание:

ПТО ЭнергияГрафитовая лодка PECVD для солнечных панелей — это усовершенствованный компонент, разработанный специально для производства высокопроизводительных солнечных панелей. Эта графитовая лодочка, используемая в процессах плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD), обеспечивает оптимальную обработку материала и равномерное осаждение тонких пленок на солнечные элементы. Разработанный для точности и долговечности, он обеспечивает превосходную теплопроводность, высокую коррозионную стойкость и минимальное загрязнение, которые необходимы для производства эффективных и высококачественных солнечных панелей.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Детали продукта

Теги продукта

ПТО ЭнергияГрафитовый носитель процесса PECVD представляет собой высококачественный расходный материал, специально разработанный для процесса PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением). Этот графитовый носитель изготовлен из графитового материала высокой чистоты и высокой плотности, обладает превосходной устойчивостью к высоким температурам, коррозионной стойкостью, стабильностью размеров и другими характеристиками и может обеспечить стабильную несущую платформу для процесса PECVD, обеспечивая однородность и плоскостность тонкой пленки. осаждение.

Графитовые носители для процесса PECVD имеют следующие характеристики:

▪ Высокая чистота: чрезвычайно низкое содержание примесей, позволяющее избежать загрязнения пленки и обеспечить ее качество.

▪ Высокая плотность: высокая плотность, высокая механическая прочность, способность выдерживать высокие температуры и высокие давления в среде PECVD.

▪ Хорошая стабильность размеров: небольшое изменение размеров при высокой температуре, что обеспечивает стабильность процесса.

▪ Отличная теплопроводность: эффективно передает тепло, предотвращая перегрев пластины.

▪ Высокая коррозионная стойкость: способность противостоять эрозии под воздействием различных агрессивных газов и плазмы.

▪ Индивидуальное обслуживание: графитовые держатели различных размеров и форм могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с потребностями клиента.

Графитовый материал от SGL:

Типичный параметр: R6510
Индекс	Стандарт испытаний	Ценить	Единица
Средний размер зерна	ИСО 13320	10	мкм
Объемная плотность	DIN МЭК 60413/204	1,83	г/см³
Открытая пористость	DIN66133	10	%
Средний размер пор	DIN66133	1,8	мкм
Проницаемость	DIN 51935	0,06	см²/с
Твердость по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удельное электрическое сопротивление	DIN МЭК 60413/402	13	мкОмм
Прочность на изгиб	DIN МЭК 60413/501	60	МПа
Прочность на сжатие	DIN 51910	130	МПа
Модуль Юнга	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Тепловое расширение (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2х10^-6	K^-1
Теплопроводность (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Он специально разработан для высокоэффективного производства солнечных элементов и поддерживает обработку пластин большого размера G12. Оптимизированная конструкция держателя значительно увеличивает пропускную способность, обеспечивая более высокую производительность и снижение производственных затрат.

Элемент	Тип	Номер вафельного носителя
Лодка PEVCD Grephite - серия 156	Грефитовая лодка 156-13	144
	156-19 грефитовая лодка	216
	156-21 грефитовая лодка	240
	Графитовая лодка 156-23	308
Лодка PEVCD Grephite - серия 125	125-15 грефитовая лодка	196
	125-19 грефитовая лодка	252
	125-21 графитовая лодка	280