CVD-покрытие карбида кремния имеет широкие перспективы применения в области электронных устройств. CVD-покрытие из карбида кремния обладает превосходными механическими, термическими и электрическими свойствами, поэтому его можно использовать в различных типах электронных устройств, включая интегральные схемы, оптоэлектронные устройства и т. д.
Читать далее