Особенности продукта
· Отличный высокотемпературный производительность
Покрытие PyC имеет плотную структуру, отличную термостойкость, хорошую теплопроводность и износостойкость. Поскольку оба элемента являются углеродными, они имеют прочную адгезию с графитом и могут герметизировать остаточные летучие вещества внутри графита, предотвращая загрязнение частицами углерода.
· Управляемый чистота
Чистота покрытия PyC может достигать уровня 5 частей на миллион, что соответствует требованиям чистоты для соединений с высокой чистотой.
· Расширенный услуга жизнь и улучшенный продукт qкачество
Покрытие PyC может эффективно продлить срок службы графитовых компонентов и улучшить качество продукции, тем самым эффективно снижая производственные затраты клиентов.
·Широкий диапазон of приложения
Покрытие PyC в основном используется в высокотемпературных областях, таких как выращивание полупроводниковых кристаллов Si/SiC, ионная имплантация, выплавка металлов для полупроводников и инструментальный анализ.
Продукт Технические характеристики
Типичная производительность | Единица | Спецификация |
Кристаллическая структура | Шестиугольный | |
Выравнивание | Ориентирован или неориентирован по направлению 0001. | |
Объемная плотность | г/см³ | -2,24 |
Микроструктура | Поликристаллический/многослойный графен | |
Твердость | ГПа | 1.1 |
Модуль упругости | ГПа | 10 |
Типичная толщина | мкм | 30-100 |
Шероховатость поверхности | мкм | 1,5 |
Чистота продукта | ppm | ≤5 частей на миллион |