Tavă de încărcare PECVD Tavă din grafit de depunere

PECVD Tavă de încărcare Depunere Tavă din grafit Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Tava de încărcare PECVD de la VET Energy este proiectată pentru a oferi suport sigur și uniform pentru napolitane în timpul depunerii, îmbunătățind consistența și calitatea procesului de depunere. Cu rezistența sa excelentă la căldură, tava din grafit ajută la menținerea unui mediu controlat în interiorul camerelor PECVD, reducând riscul de contaminare și asigurând o eficiență ridicată a procesului.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Tava de încărcare VET Energy PECVD este un suport de precizie proiectat pentru procesul PECVD (depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă). Această tavă de grafit de depunere de înaltă calitate este realizată din material de grafit de înaltă puritate, de înaltă densitate. Are rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici. Poate oferi o platformă purtătoare stabilă pentru procesul PECVD și poate asigura uniformitatea și planeitatea depunerii filmului.

Tăvile de încărcare VET Energy PECVD sunt utilizate pe scară largă în semiconductori, fotovoltaic, LED și alte domenii. De exemplu:

▪ Semiconductor: proces PECVD pentru materiale semiconductoare, cum ar fi plăcile de siliciu și plachetele epitaxiale.

▪ Fotovoltaic: proces PECVD pentru pelicule subtiri de celule solare.

▪ LED: proces PECVD pentru cipuri LED.

Avantajele produsului

▪Îmbunătățiți calitatea filmului:Asigurați depunerea uniformă a filmului și îmbunătățiți calitatea filmului.

▪Extindeți durata de viață a echipamentului:Rezistență excelentă la coroziune, prelungește durata de viață a echipamentului PECVD.

▪Reduceți costurile de producție:Tăvile de grafit de înaltă calitate pot reduce rata deșeurilor și pot reduce costurile de producție.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a boabelor	ISO 13320	10	μm
Densitate în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiunea medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistivitate electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistența la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistența la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este proiectat special pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, susținând procesarea plachetelor de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al transportorului crește semnificativ debitul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Număr suport de napolitană
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 barcă din grefit	144
	156-19 barcă din grefit	216
	156-21 barcă din grefit	240
	156-23 barcă de grafit	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 barcă din grefit	196
	125-19 barcă din grefit	252
	125-21 barcă de grphite	280