Suport pentru napolitană cu substrat de grafit pentru PECVD

Suport pentru napolitană cu substrat de grafit pentru imaginea prezentată PECVD

Scurtă descriere:

Suportul pentru substrat din grafit de la VET Energy este proiectat pentru a menține alinierea și stabilitatea plachetelor pe tot parcursul procesului PECVD, prevenind contaminarea și minimizând riscul de deteriorare. Suportul pentru napolitane din grafit oferă o platformă sigură și uniformă, asigurând că napolitanele sunt expuse uniform la plasmă pentru o depunere consistentă și de înaltă calitate. Cu conductivitate termică ridicată și rezistență excepțională, acest suport ajută la îmbunătățirea eficienței generale a procesului și a performanței produsului.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder este un suport de precizie conceput pentru procesul PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Acest suport de substrat de grafit de înaltă calitate este fabricat din material de grafit de înaltă puritate, de înaltă densitate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici. Poate oferi o platformă de suport stabilă pentru procesul PECVD și poate asigura uniformitatea și planeitatea depunerii filmului.

Tabelul suport pentru plachete de grafit pentru proces VET Energy PECVD are următoarele caracteristici:

▪Puritate ridicată:conținut extrem de scăzut de impurități, evitați contaminarea filmului, asigurați calitatea filmului.

▪densitate mare:densitate ridicată, rezistență mecanică ridicată, poate rezista la temperaturi ridicate și la presiune înaltă mediului PECVD.

▪Stabilitate dimensională bună:modificare dimensională mică la temperatură ridicată, asigurând stabilitatea procesului.

▪Conductivitate termică excelentă:transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetelor.

▪Rezistență puternică la coroziune:poate rezista la eroziune de către diferite gaze corozive și plasmă.

▪Serviciu personalizat:Mesele suport din grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clienților.

Avantajele produsului

▪Îmbunătățiți calitatea filmului:Asigurați depunerea uniformă a filmului și îmbunătățiți calitatea filmului.

▪Extindeți durata de viață a echipamentului:Rezistență excelentă la coroziune, prelungește durata de viață a echipamentului PECVD.

▪Reduceți costurile de producție:Tăvile de grafit de înaltă calitate pot reduce rata deșeurilor și pot reduce costurile de producție.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a boabelor	ISO 13320	10	μm
Densitate în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiunea medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistivitate electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistența la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistența la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este proiectat special pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, susținând procesarea plachetelor de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al transportorului crește semnificativ debitul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Număr suport de napolitană
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 barcă din grefit	144
	156-19 barcă din grefit	216
	156-21 barcă din grefit	240
	156-23 barcă de grafit	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 barcă din grefit	196
	125-19 barcă din grefit	252
	125-21 barcă de grphite	280