Suport pentru napolitană de grafit PECVD

PECVD Graphite Wafer Support Imagine prezentată

Scurtă descriere:

Proiectat pentru precizie și performanță, suportul pentru napolitane de grafit de la VET Energy este materialul ideal pentru utilizarea în procesarea avansată a plachetelor, unde stabilitatea termică ridicată și performanța constantă sunt esențiale. Indiferent dacă lucrați cu plachete semiconductoare sau alte substraturi delicate, acest suport de grafit de înaltă calitate vă va îmbunătăți fiabilitatea procesului și calitatea produsului, făcându-l o componentă indispensabilă pentru producția modernă.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detaliu produs

Etichete de produs

Suportul pentru napolitană de grafit pentru proces VET Energy PECVD este un consumabil de bază proiectat pentru procesul PECVD (depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă). Acest produs este fabricat din material de grafit de înaltă puritate, de înaltă densitate, cu rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici, poate oferi o platformă de sprijin stabilă pentru procesul PECVD, pentru a asigura uniformitatea și planeitatea depunerii filmului.

Designul „suport de grafit” al suportului de napolitană de grafit VET Energy poate nu numai să susțină eficient napolitana, ci și să ofere stabilitate termică în mediul PECVD de temperatură ridicată și presiune înaltă pentru a asigura stabilitatea procesului.

Suportul de napolitană de grafit pentru proces VET Energy PECVD are următoarele caracteristici:

▪Puritate ridicată:conținut extrem de scăzut de impurități, evitați contaminarea filmului, pentru a asigura calitatea filmului.

▪densitate mare:densitate ridicată, rezistență mecanică ridicată, poate rezista la temperaturi ridicate și la presiune înaltă mediului PECVD.

▪Stabilitate dimensională bună:mici modificări dimensionale la temperatură ridicată pentru a asigura stabilitatea procesului.

▪Conductivitate termică excelentă:transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetelor.

▪Rezistență puternică la coroziune:Capabil să reziste la eroziune de către diferite gaze corozive și plasmă.

▪Serviciu personalizat:Mesele suport din grafit de diferite dimensiuni si forme pot fi personalizate in functie de nevoile clientului.

Material grafit de la SGL:

Parametru tipic: R6510
Index	Standard de testare	Valoare	Unitate
Dimensiunea medie a boabelor	ISO 13320	10	μm
Densitate în vrac	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porozitate deschisă	DIN66133	10	%
Dimensiunea medie a porilor	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitate	DIN 51935	0,06	cm²/s
Duritate Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistivitate electrică specifică	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Rezistența la încovoiere	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Rezistența la compresiune	DIN 51910	130	MPa
Modulul Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansiune termică (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivitate termică (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Este proiectat special pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, susținând procesarea plachetelor de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al transportorului crește semnificativ debitul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.

Articol	Tip	Număr suport de napolitană
Barcă PEVCD Grephite - Seria 156	156-13 barcă din grefit	144
	156-19 barcă din grefit	216
	156-21 barcă din grefit	240
	156-23 barcă de grafit	308
Barcă PEVCD Grephite - Seria 125	125-15 barcă din grefit	196
	125-19 barcă din grefit	252
	125-21 barcă de grphite	280